[发明专利]一种用于点扫描激光共焦显微镜的面内扫描方法和系统

权利要求书

1.一种用于点扫描激光共焦显微镜的面内扫描方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：

步骤一，首先将样品台、计算机和扫描共焦显微镜测量物镜构成激光共焦扫描显微镜的三维扫描系统，实现自动控制扫描；

步骤二，然后在样品台上对被测样品定位；

步骤三，三维扫描系统使样品台依次进行旋转、一维横向移动，直至被测样品扫描完一层，接着复位进行轴向扫描被测样品下一层；

步骤四，重复步骤三的过程，直至被测样品测量完毕。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的样品台主要包括z向扫描机构、转动机构和X位移平台，其中，X位移平台垂直于扫描共焦显微镜测量物镜光轴，z向扫描机构平行于扫描共焦显微镜测量物镜光轴。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的轴向扫描是样品台移动，或者是扫描共焦显微镜测量物镜移动。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的横向移动由步进电机或伺服电机实现，旋转由旋转电机实现。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的扫描顺序是旋转扫描与横向扫描交替进行，或者是旋转扫描与横向扫描同步协调进行。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，.所述的扫描共焦显微镜系统为反射式或透射式。

7.一种实现权利要求1所述的用于点扫描激光共焦显微镜的面内扫描方法的系统，该系统包括光源系统和测量系统，其特征在于：

所述的光源系统包括有光源，在光源的光路上有第一滤光片、会聚透镜、第一针孔、准直透镜、中性滤光片、分光镜和观察系统；

所述的测量系统包括有显微物镜，显微物镜设有第二滤光片、集光透镜、第二针孔、光电探测器、放大电路；

测量系统的显微物镜和测样品对准；

样品台用于放置被测样品，该样品台主要包括转动机构和X位移平台；若轴向扫描采用样品台移动，该扫描台还包括z向扫描机构，若轴向扫描采用测量物镜移动，该扫描台不包括Z向扫描机构；样品台与一计算机相连，计算机与测量系统的放大电路相连。

8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述的X位移平台垂直于扫描共焦显微镜测量物镜光轴，z向扫描机构平行于扫描共焦显微镜测量物镜光轴。