[发明专利]多层压电式微位移致动器无效
申请号: | 200710019691.X | 申请日: | 2007-02-01 |
公开(公告)号: | CN101159308A | 公开(公告)日: | 2008-04-09 |
发明(设计)人: | 潘铁政;王晓峰 | 申请(专利权)人: | 昆山攀特电陶科技有限公司 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H01L41/083;H01L41/09 |
代理公司: | 昆山四方专利事务所 | 代理人: | 盛建德 |
地址: | 215300江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多层 压电 式微 位移 致动器 | ||
1.一种多层压电式微位移致动器,由多个压电陶瓷层(3)叠堆成压电陶瓷堆,该多个压电陶瓷层(3)两两之间分别设有多个内电极(8),该多个内电极(8)形成两组彼此非接触的内电极组(1),该两组内电极组以交替方式分别向该压电陶瓷堆两侧延伸,并分别与设于该压电陶瓷堆两侧的两个外电极(4)导通连接,其特征在于,该两个外电极(4)分别由贴合于该压电陶瓷堆两侧的、防导电离子迁移的两导电阻挡层(10)和贴合于该两导电阻挡层(10)的、防裂缝的导电弹性层(11)组成。
2.如权利要求1所述的一种多层压电式微位移致动器,其特征在于,该导电阻挡层由至少包含铜、镍、钯、铝及合金中一种材料组成。
3.如权利要求1所述的一种多层压电式微位移致动器,其特征在于,该导电弹性层为具有导电介质的软性或弹性导电胶或导电胶带。
4.如权利要求1所述的一种多层压电式微位移致动器,其特征在于,该压电陶瓷堆一侧的该内电极组与该压电陶瓷堆另一侧的导电阻挡层之间形成绝缘间隔区(9)。
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