[发明专利]铝膜电极缺陷的检测、断线修补方法及检测装置

权利要求书

1、一种Al电极缺陷的检测方法，包括Al膜电极连线缺陷和断线缺陷检测方法，其特征是：

所述的Al膜电极连线缺陷的检测方法为：

首先制作一个与基板上的Al膜电极图案能重合的Al膜电极掩模版正片并将它们对准后置于有背光的检测台上，通过照射光源在检测台上方的移动，检测照射光的反射强度以判定是否有连线存在，如果被照射位置的光线的反射强度低于预先测定的无连线位置处的反射强度，即可判定所照射区域存在连线缺陷，并将此结果送至相应的控制系统中加以记录，为后续的修补提供依据；

所述的Al膜电极断线缺陷的检测方法为：

首先制作一个与基板上的Al膜电极图案与间隙的透光性质正好相反的Al膜电极掩模版负片，并将它们对准后置于有背光的检测台上，通过照射光源在检测台上方的移动，检测照射光的反射强度，以判定是否有断线存在，如果被照射位置的光线的反射强度高于预先测定的无断线位置处的反射强度，即可判定所照射区域存在断线缺陷，再通过CCD摄像头对此缺陷作进一步的断线类型判定，并将此结果送至相应的控制系统中加以记录，为后续的修补提供依据。

2、根据权利要求1所述的Al电极缺陷的检测方法，其特征是所述的Al膜电极连线缺陷的检测方法为：首先将Al膜电极掩模版的正片(9)与基板(1)的Al膜电极图案(3)以对位标志重合的方式放置于带有背光的检测台(10)上，使Al膜电极图案与间隙的透光性质与掩模版的正片(9)相同，其次在控制系统(8)作用下，驱动检测头(6)在X、Y方向以适当的光斑对待检测的基板(1)进行扫描检测，如测得的位置上的光强低于事先测定的没有连线缺陷的光强标准值，表明该区域有连线缺陷(11)使透光率下降，系统给出提示，通过CCD进一步确定是否为连线缺陷(11)，从而在控制系统中记录连线的位置，为后道的切断修补程序提供指令。

3、根据权利要求1所述的Al电极缺陷的检测方法，其特征是所述的Al膜电极断线缺陷的检测方法为：首先将Al膜电极掩模版的负片(12)与基板(1)的Al膜电极图案(3)以对位标志重合的方式放置于带有背光的检测台(10)上，使Al膜电极图案与间隙的透光性质与掩模负片(12)正好相反，然后在控制系统(8)作用下，检测头(6)在X、Y方向以适当的光斑对所检测的基板(1)进行扫描检测，如测得的位置上的光强高于事先测定的没有断线缺陷处的光强标准值，则表明该区域有断线缺陷使透光率增大，系统给出提示，通过CCD进一步确定断线性质，以确定是完全断线(14)、需修补的不完全断线(15)还是不影响显示效果而不需要修补的不完全连线(16)，并在控制系统(8)中记录断线的位置，为后道的切断修补程序提供指令。

4、一种权利要求1所述方法使用的检测装置，其特征是它由安装玻璃基板(2)的检测台(10)、支架(7)、控制系统(8)、检测头(6)及背光光源(18)组成，背光光源安装在检测台(10)的下部、玻璃基板(2)的下部，支架(7)位于检测台(10)的上方，检测头(6)活动安装在滑杆(19)上并能沿滑杆(19)作X方向的左右移动，它通过连接线与控制系统(8)相连，滑杆(19)活动支承在支架(7)上并能沿支架(7)作Y方向的前后移动。