[发明专利]十字架结构的二维风速风向传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种十字架结构的二维风速风向传感器，其特征在于该传感器采用玻璃衬底，中央的加热电阻(1)为十字架结构，第一测温电阻(2)，第二测温电阻(3)，第三测温电阻(4)，第四测温电阻(5)，分别对称分布在十字架结构加热电阻之间，对称分布在玻璃衬底周围的16个压焊块(6)，对加热电阻和四个测温电阻进行分别引出。

2.根据权利要求1所述的十字架结构的二维风速风向传感器，其特征在于所述衬底的材料由玻璃替换为陶瓷或其它低热导率的材料。

3.根据权利要求1或2所述的十字架结构的二维风速风向传感器，其特征在于加热电阻(1)、第一测温电阻(2)、第二测温电阻(3)、第三测温电阻(4)和第四测温电阻(5)为利用剥离工艺制作的镍或者其它高温度系数金属电阻。

4.根据权利要求1所述的十字架结构的二维风速风向传感器的制备方法，其特征在于采用如下工艺步骤：

a)在PREX7740玻璃衬底上淀积500A的钛和2000A的铂，利用金属剥离工艺形成以下6个部分的图形：十字架结构加热电阻(1)、第一测温电阻(2)、第二测温电阻(3)、第三测温电阻(4)、第四测温电阻(5)、压焊块(6)；

b)在压焊块(6)图形处利用剥离工艺形成3000A的金层。