[发明专利]防滴漏型光阻瓶

说明书

技术领域

本发明涉及一种液剂容器，尤其涉及一种通过外界施压控制瓶内液剂出液流量的光阻瓶。

背景技术

随着集成电路技术的飞速进步，集成度在不断提高，芯片面积在不断缩小，由此对集成电路制造工艺也提出了更高的要求。经历了数十年反复的研究、实践、改进、再实践，如今的IC制程技术已经达到了一个较为成熟的水平。“蚀刻”作为当前IC制程的一个重要环节对于集成电路的集成度提高正起着越来越重要的作用。在这个过程中，光阻是这道工序必不可少的制备材料，通过光阻的覆盖、曝光、显影及去除完成蚀刻进而为后续工序提供可能。

现行比较通用的光阻瓶是液剂瓶附套一个功能型瓶盖，瓶盖上安装进气管、出液管，进气管向瓶内施压，液剂从出液管输出，从而为IC制程的蚀刻工序提供流量可控的腐蚀性光阻液剂。但是这种传统的光阻瓶在更换或补充光阻时，出液管里面的残余光阻受重力作用会滴到高架地板上面，对工作环境造成破坏。且光阻具有腐蚀性，工作环境一旦被污染，后续清洁将很麻烦。

发明内容

针对上述情况，本发明提供了一种可以防止滴漏的光阻瓶，其目的是在维持原功能的前提下，更换瓶盖时腐蚀性光阻不再滴漏，保持工作环境清洁。

本发明的技术解决方案是：防滴漏型光阻瓶，用于集成电路制造工艺，为蚀刻过程提供流量可控的腐蚀性光阻液剂，其结构包括瓶体、瓶盖、进气管和出液管，瓶体与瓶盖之间为螺纹连接，进气管和出液管经由瓶盖与瓶体内部通连，其特征在于：所述瓶盖与瓶体之间设有一段可伸缩软管，该可伸缩软管的上下两端分别抵在瓶盖内表面以及瓶体的瓶口上面，当瓶盖安装于瓶体上面时，瓶口和瓶盖从两侧挤压可伸缩软管，使软管收缩；同时，所述出液管分为上下两段，下段为吸液段、上段为出液段，吸液段的下端插入瓶体底部，工作时浸入光阻液剂的内部，出液段的上端处于瓶体之外，并与光阻液剂的输出管线连接，而出液段的下端以及吸液段的上端，则分别与所述可伸缩软管的上下两端连接，连接之后三者内部空间相互通连，构成中途密闭的吸液和出液通路。

这样，本发明通过在瓶盖和瓶体内部增设一段抗腐蚀、具备一定张力的、可以伸长缩短的软管，并把原出液管分成吸液段和出液段两部分，这两段分别与可伸缩软管连通并与外界密闭，在拧松瓶盖时软管伸长形成低压腔体，残留于吸液管内的光阻被吸入到软管内，不再会滴到光阻瓶之外；当拧紧瓶盖时，软管受到挤压而缩短，软管内的光阻排回瓶体，照样可以正常使用。因此，本发明技术方案在维持光阻瓶正常使用功能的前提下，很好地解决了现在技术存在的问题，确保工作环境清洁。

附图说明

图1是本发明中防滴漏型光阻瓶盖的结构示意图；

图2是本发明中防滴漏型光阻瓶盖的结构俯视示意图；

图3是本发明所对照的先有瓶盖结构示意图；

图4是本发明中防滴漏型光阻瓶盖从瓶口旋松时的状态示意图；

图5是本发明中防滴漏型光阻瓶盖从瓶口旋紧时的状态示意图。

以上各图当中的附图标记的含义是：

1-瓶体，2-瓶盖，3-瓶口；

21-进气管，22-出液管，23-吸液管，24-螺纹软管，25-连接螺纹，26-进压孔，27-出液管孔，28-盖体径向内壁，29-瓶盖的径向圆心，30-先前设计的出液管，31-瓶口边缘；

231-出液孔，241-软管腔，242-软管底部，243-软管的径向圆心；

A-N₂气体，B-光阻。

具体实施方式

以下将参照附图更全面地描述本发明的技术方案。其中示意了本发明的典型实施例，但是本发明可以以多种方式来实施，并不仅仅局限于这里所提出的实施例。相反，提供这些实施例可使本发明技术方案公开得更彻底、更全面，并且将充分地向本领域技术人员传达本发明的保护范围。