[发明专利]基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构

权利要求书

1、一种基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构，在机架与支撑板之间设有三个按120°沿被支撑镜面周向分布的平行于镜面法向的独立线性位移运动机构A、B和C，中心处设置有回转运动运动副和轴向运动导向运动副，其特征在于，所述的回转运动运动副和轴向运动导向运动副的结构是：在机架上固定有均匀排列在一同心圆上的若干根支撑柱，该若干根支撑柱分别与一高强度高弹性的膜片的外缘固定联接，并利用这些支撑柱对该弹性膜片施加离心预应力，使该弹性膜片张紧，该弹性膜片的中心处与支撑板紧固联接。

2、按照权利要求1所述的基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构，其特征在于，所述的弹性膜片设置在支撑板上方或下方。

3、按照权利要求2所述的基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构，其特征在于，当弹性膜片设置在支撑板上方时，结构是：所述的若干根支撑柱是通过支撑板的过孔与弹性膜片联接。

4、按照权利要求1或2或3所述的基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构，其特征在于，所述的若干根支撑柱是六根，所述的弹性膜片为六边形弹性膜片。

5、按照权利要求4所述的基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构，其特征在于，所述的六边形弹性膜片六边开有圆弧形缺口，六边形弹性膜片的六个角分别和六根支撑柱顶端相固连。

6、按照权利要求5所述的基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构，其特征在于，还设置有圆盘限位；圆盘中部与被支撑物相固连，圆盘边缘正好置于将膜片紧固于支撑柱顶端的六个压板缺口内，圆盘本身正好作为膜片与被支撑物相固连的压板。

7、按照权利要求5或6所述的基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构，其特征在于，具体结构如下：在机架(1)上对应弹性膜片(8)的尺寸和方位选定六点构成正六边形分布的支撑柱(5)的安装位置，六根支撑柱(5)用支撑柱螺钉(13)紧固联接在机架(1)上，支撑柱(5)穿过支撑板(2)上的过孔，支撑板(2)和位移运动机构(12)相联接，将调整垫片(10)、弹性膜片(8)和圆盘(11)用螺钉(9)和支撑板(2)联接紧固，其中，调整垫片(10)是用来支撑弹性膜片(8)调整安装的高度，弹性膜片(8)的六个角分别用六个压板(6)通过压板螺钉(7)和支撑柱(5)顶部紧固联接，其中，圆盘(11)的边缘正好置入压板(6)的侧面槽中，并留有工作需要的行程间隙，支撑装置(4)由螺钉(14)安装在支撑板(2)上，并与镜面(3)联接。