[发明专利]基于非晶固体电解质薄膜(AgI)x(AgPO3)1－x及其制备方法

权利要求书

1.一种基于非晶固体电解质薄膜银碘磷氧，其特征在于组成该薄膜的化学式为(AgI)_x(AgPO₃)_1-x，其中，该薄膜在室温下为非晶态，0≤x≤0.7。

2.一种制备权利要求1所述的非晶固体电解质(AgI)_x(AgPO₃)_1-x薄膜材料的脉冲激光沉积方法，其制备步骤如下：

a)(AgI)_x(AgPO₃)_1-x玻璃靶材4是用AgI、AgNO₃、(NH₄)₂HPO₄粉末熔炼制备的；在450℃～600℃熔化以上粉末的化学配比(mol％ AgI∶mol％AgNO₃∶mol％(NH₄)₂HPO₄＝x∶1-x∶1-x)混合物；将熔液浇至铜模中，冷却凝固后制成(AgI)_x(AgPO₃)_1-x玻璃靶材4；

b)将(AgI)_x(AgPO₃)_1-x玻璃靶材4固定在脉冲激光沉积制膜系统(如图2所示)的靶台5上，衬底1固定在衬底台8上，他们都放置在脉冲激光沉积制膜系统的生长室6中；

c)用真空泵通过机械泵和分子泵的接口阀7将生长室6抽真空到1.0×10^-3Pa以下；

d)启动KrF准分子激光器2，使激光束通过聚焦透镜3聚焦在(AgI)_x(AgPO₃)_1-x玻璃靶材4上；

e)根据单脉冲能量，确定沉积时间，在衬底1上沉积厚度为30nm～2000nm厚的非晶固体电解质薄膜。

3.如权利要求1所述的非晶固体电解质薄膜在制备非挥发相变记忆元件中应用。