[发明专利]二氧化硅蒸镀材料的制备方法有效
申请号: | 200710025480.7 | 申请日: | 2007-07-31 |
公开(公告)号: | CN101200793A | 公开(公告)日: | 2008-06-18 |
发明(设计)人: | 许士荣 | 申请(专利权)人: | 昆山光铭光电子元件有限公司 |
主分类号: | C23C14/10 | 分类号: | C23C14/10 |
代理公司: | 昆山四方专利事务所 | 代理人: | 盛建德 |
地址: | 215325江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二氧化硅 材料 制备 方法 | ||
1.一种二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,依次包括以下步骤:
1)在物料板上涂上粘接剂,将一组相同的二氧化硅棒紧密并排粘接于该物料板后烘干;
2)将一组相同的切割剧片与一组相同的隔板,通过该切割剧片与隔板两两间隔设置,紧密并排固定于磨床主轴;
3)将粘接有该二氧化硅棒的物料板对应固定于该磨床操作台,卡紧并切割,形成二氧化硅颗粒;
4)将该二氧化硅颗粒从该物料板上铲下,通过沸水清洗并烘干,形成二氧化硅蒸镀材料。
2.如权利要求1所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,在实施步骤(1)之前,先将该一组相同的二氧化硅棒用切割机预切成长度相同的短棒,并清洗烘干。
3.如权利要求1或2所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,该相邻两切割剧片之间的间距为该二氧化硅棒的直径。
4.如权利要求1或2所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,该二氧化硅棒的直径为1-3mm。
5.如权利要求4所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,该二氧化硅棒的直径选为1.0mm、1.5mm、2mm、2.5mm或3mm。
6.如权利要求1或2所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,该粘接剂为厌氧胶。
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