[发明专利]二氧化硅蒸镀材料的制备方法有效

专利信息
申请号: 200710025480.7 申请日: 2007-07-31
公开(公告)号: CN101200793A 公开(公告)日: 2008-06-18
发明(设计)人: 许士荣 申请(专利权)人: 昆山光铭光电子元件有限公司
主分类号: C23C14/10 分类号: C23C14/10
代理公司: 昆山四方专利事务所 代理人: 盛建德
地址: 215325江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 二氧化硅 材料 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,依次包括以下步骤:

1)在物料板上涂上粘接剂,将一组相同的二氧化硅棒紧密并排粘接于该物料板后烘干;

2)将一组相同的切割剧片与一组相同的隔板,通过该切割剧片与隔板两两间隔设置,紧密并排固定于磨床主轴;

3)将粘接有该二氧化硅棒的物料板对应固定于该磨床操作台,卡紧并切割,形成二氧化硅颗粒;

4)将该二氧化硅颗粒从该物料板上铲下,通过沸水清洗并烘干,形成二氧化硅蒸镀材料。

2.如权利要求1所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,在实施步骤(1)之前,先将该一组相同的二氧化硅棒用切割机预切成长度相同的短棒,并清洗烘干。

3.如权利要求1或2所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,该相邻两切割剧片之间的间距为该二氧化硅棒的直径。

4.如权利要求1或2所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,该二氧化硅棒的直径为1-3mm。

5.如权利要求4所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,该二氧化硅棒的直径选为1.0mm、1.5mm、2mm、2.5mm或3mm。

6.如权利要求1或2所述的二氧化硅蒸镀材料的制备方法,其特征在于,该粘接剂为厌氧胶。

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