[发明专利]超高纯氢氟酸的提纯方法

权利要求书

1.一种超高纯氢氟酸的提纯方法，其特征在于该方法的主要工艺如下：

步骤一、精馏

将工业无水氟化氢液体通入精馏釜，用氮气置换精馏釜中的空气，控制精馏釜内压力≤0.1Mpa，加入高锰酸钾，高锰酸钾的加量占工业无水氟化氢加量的0.16-1重量％，搅拌10分钟±5分钟，静止20分钟±5分钟，使工业无水氟化氢中含有的大量的二氧化硫和三氟化砷生成难以挥发的化合物；然后加入30重量％的过氧化氢，过氧化氢占工业无水氟化氢加量的0.5-5重量％，搅拌10分钟±5分钟，静止20分钟±5分钟；升温至60-80℃，氟化氢液体气化生成纯化的氟化氢气体；

步骤二、冷却过滤

将出精馏釜的纯化的氟化氢气体通入冷却器进行冷却并过滤，冷却器底部布满聚四氟乙稀填料，对氟化氢气体进行过滤，通过降温把已经纯化后的氟化氢气体转换成气液相临界状态，使其中还存有的少量杂质进行分离，杂质部分回流至精馏釜，经冷却过滤得再次纯化的氟化氢气体进入吸收塔；

步骤三、吸收

吸收塔内注入去离子水，吸收塔底部设置布气盘管，将出冷却器的氟化氢气体通入吸收塔底部的布气盘管，由布气盘管管壁上的布气孔释放出来后再由去离子水吸收制成氢氟酸半成品；

步骤四、过滤

出吸收塔的氢氟酸半成品通入0.05-0.2μm的过滤器过滤后得到超高纯氢氟酸成品。