[发明专利]一种有机电致发光二极管制造方法及其使用的缓冲转换腔

权利要求书

1.一种有机电致发光二极管制造方法，包括高真空环境下在基板上沉积各有机功能层的镀膜阶段；缓冲转换腔体中的环境转换传递阶段；高纯N2环境的封装阶段；其特征在于：在缓冲转换腔体中通过外置电源对完成镀膜的基板进行电处理，使基板正极接电源的负极、基板负极接电源的正极，利用二极管反压截止原理，基板上器件中流过短路缺陷处的电流将会明显大于没有短路缺陷的地方，从而把局部短路的缺陷区域烧坏去掉。

2.根据权利要求1所述的有机电致发光二极管制造方法，其特征在于：外加电源输出的电压大小及方向可调，可随器件能承受电压的不同而随意改变；输出的电压为脉冲电压、负电压或恒定负电压。

3.根据权利要求1所述的有机电致发光二极管制造方法，其特征在于：同时向缓冲转换腔体里充入钝化活泼金属的气体。

4.根据权利要求1所述的有机电致发光二极管制造方法，其特征在于：在缓冲转换腔体中根据所制作器件工艺要求选定采用加电和充入气体组合方式处理。

5.一种上述方法中使用的缓冲转换腔，腔体中包括抽气部分、充气部分和支撑架，支撑架由一个支柱和支撑台组成，支撑台中为用于放置基板的凹槽，其特征在于：所述凹槽中设有用于接触基板上的金属块电极的弹性金属顶针，顶针排布与基板电极排布相对应。

6.根据权利要求5所述的缓冲转换腔，其特征在于：腔体中还设有用以压住基板上的金属块电极与金属顶针接触的气动压框，此压框可上下运动。

7.根据权利要求5所述的缓冲转换腔，其特征在于：缓冲转换腔中凹槽的侧边为阶梯状，弹性金属顶针分布在该阶梯状侧边上。