[发明专利]一种用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺无效
申请号: | 200710034271.9 | 申请日: | 2007-01-16 |
公开(公告)号: | CN101226969A | 公开(公告)日: | 2008-07-23 |
发明(设计)人: | 向小龙 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 制备 太阳能电池 快速 尖峰 烧结 工艺 | ||
1.一种用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,利用红外短波加热光源定向辐射加热,实现金属化熔结,其特征在于,将待烧结物(12)通过网带(5)快速送入隧道式烧结炉道(1)中的加热炉道(2),加热炉道(2)外部为隔热纤维(4),网带(5)上下排列有红外短波加热灯管(6),加热炉道(2)被隔离组件(7)隔离为不同温区,并且通过送气管(9)及各个温区内置的喷淋嘴(16)向各个温区送入工艺气体,待烧结物(12)经过加热炉道(2)的最高温区之后,通过快速运动的网带(5)运载,进入内部分布有盘管(13)的水冷隧道(3)以实现快速降温,所述盘管(13)内通有冷却水。
2.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述隧道式烧结炉道(1)中加热炉道(2)与水冷隧道(3)之间有密封橡胶垫(14)。
3.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述网带(5)由其底部石英托板(10)下的石英托管(8)带动运行。
4.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述工艺气体在进入加热炉道(2)前先通过匀流装置然后再均匀淋入加热炉道(2)内。
5.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,加热炉道(2)和水冷隧道(3)之间通过气帘隔离。
6.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述盘管(13)为外包铝泊的铜制盘管,其内部通有的冷却水为15℃循环用水。
7.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述隔离组件(7)采用厚25mm的耐高温陶瓷板分隔开,中间开有高60mm、宽500mm的长方形孔以供网带(5)载待烧结物(12)从其间通过。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的