[发明专利]一种用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺无效

专利信息
申请号: 200710034271.9 申请日: 2007-01-16
公开(公告)号: CN101226969A 公开(公告)日: 2008-07-23
发明(设计)人: 向小龙 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 代理人: 马强
地址: 410111湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 制备 太阳能电池 快速 尖峰 烧结 工艺
【权利要求书】:

1.一种用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,利用红外短波加热光源定向辐射加热,实现金属化熔结,其特征在于,将待烧结物(12)通过网带(5)快速送入隧道式烧结炉道(1)中的加热炉道(2),加热炉道(2)外部为隔热纤维(4),网带(5)上下排列有红外短波加热灯管(6),加热炉道(2)被隔离组件(7)隔离为不同温区,并且通过送气管(9)及各个温区内置的喷淋嘴(16)向各个温区送入工艺气体,待烧结物(12)经过加热炉道(2)的最高温区之后,通过快速运动的网带(5)运载,进入内部分布有盘管(13)的水冷隧道(3)以实现快速降温,所述盘管(13)内通有冷却水。

2.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述隧道式烧结炉道(1)中加热炉道(2)与水冷隧道(3)之间有密封橡胶垫(14)。

3.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述网带(5)由其底部石英托板(10)下的石英托管(8)带动运行。

4.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述工艺气体在进入加热炉道(2)前先通过匀流装置然后再均匀淋入加热炉道(2)内。

5.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,加热炉道(2)和水冷隧道(3)之间通过气帘隔离。

6.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述盘管(13)为外包铝泊的铜制盘管,其内部通有的冷却水为15℃循环用水。

7.根据权利要求1所述用于制备太阳能电池的快速尖峰烧结工艺,其特征在于,所述隔离组件(7)采用厚25mm的耐高温陶瓷板分隔开,中间开有高60mm、宽500mm的长方形孔以供网带(5)载待烧结物(12)从其间通过。

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