[发明专利]一种高导热金刚石-铜复合封装材料及其制备方法无效
申请号: | 200710034952.5 | 申请日: | 2007-05-18 |
公开(公告)号: | CN101139515A | 公开(公告)日: | 2008-03-12 |
发明(设计)人: | 易丹青;李荐;侯亚平;叶国华;潘峥嵘;郑利强 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | C09K3/10 | 分类号: | C09K3/10 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所 | 代理人: | 颜勇 |
地址: | 410083*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导热 金刚石 复合 封装 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种高导热金刚石-铜复合封装材料,由铜基体和分布在铜基体中的导热、强度增强物金刚石颗粒以及改善界面结合状况的添加剂构成,其特征在于:所述的金刚石颗粒含量以质量计为5~60%,选用粒径范围为:1μm~150μm,所述的添加剂为铬、镍、钨、钛、铁、钼、钽或铌组成的物质组中的一种或它们的任意组合,其含量以质量计为0.1~10%。
2.制备权利要求1所述的高导热金刚石-铜复合封装材料的方法,其特征是:其生产工艺流程是:
①铜粉还原处理:将铜粉原料在还原炉中用氢气还原,还原温度300℃~700℃,时间0.5~3小时;当铜粉中氧含量较低时也可以省去还原步骤;
②混料:将预处理好的铜粉及以质量计为5~60%的1μm~150μm的经化学镀Ni-Cr或Ni-W的金刚石颗粒装入聚氨酯球磨罐中,在三维混料机中混合,混料时间1~5h;采用金刚石化学镀Ni-Cr或Ni-W的金刚石颗粒,或在配料中加入以质量计为0.1~10%的添加剂;
③热压烧结:将混合料装入热压石墨模具中,放入真空热压烧结炉,烧结温度500℃~950℃,压制压力5~30MPa,烧结时间0.5~3小时;
④材料加工:将热压烧结制品加工成所需尺寸。
3.制备权利要求1所述的高导热金刚石-铜复合封装材料的方法,其特征是:其生产工艺流程是:
①铜粉还原处理:将铜粉原料在还原炉中用氢气还原,还原温度300℃~700℃,时间0.5~3小时;当铜粉中氧含量较低时也可以省去还原步骤;
②混料:将预处理好的铜粉、以质量计为5~60%的1μm~150μm的经化学镀Ni-Cr或Ni-W的金刚石颗粒装入聚氨酯球磨罐中,在三维混料机中混合,混料时间1~5 h;采用金刚石化学镀Ni-Cr或Ni-W的金刚石颗粒,或在配料中加入以质量计为0.1~10%的添加剂;
③压制成型:将混合料装入成型模具中,用压力机压制成型;用塑料袋将压坯真空包套;再放入冷等静压机中进行成型,以提高压坯密度,减少烧结过程中的变形;
④热等静压烧结:将压坯放入热等静压炉中,烧结温度500℃~950℃,压力50~200MPa,烧结时间0.5~3小时;
⑤材料加工:将热压烧结制品加工成所需尺寸。
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