[发明专利]一种石英玻璃上制作纳米级沟道的方法有效
| 申请号： | 200710036417.3 | 申请日： | 2007-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN101037185A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 金庆辉;刘菁;赵建龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;C03C15/00;B01J19/00;B01L3/00;G01N35/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 制作 纳米 沟道 方法 | ||
【权利要求书】：
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