[发明专利]可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统无效
申请号: | 200710036765.0 | 申请日: | 2007-01-24 |
公开(公告)号: | CN101029816A | 公开(公告)日: | 2007-09-05 |
发明(设计)人: | 师树恒;王斌;朱健强 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B7/14 | 分类号: | G01B7/14 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可调 干涉仪 间距 在线 监控 系统 | ||
【说明书】:
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