[发明专利]物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置及其测量方法无效
| 申请号： | 200710037264.4 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101017082A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 何国田;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G01B9/02;G01B9/023 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物体 表面 形貌 纳米 精度 实时 干涉 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【说明书】：
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