[发明专利]光刻胶气泡排除系统及排除方法

权利要求书

1. 一种光刻胶气泡排除系统，包括：气泡收集桶，所述气泡收集桶上设置有第一排气管路；电机驱动泵，通过光刻胶运送管路将其输入端与气泡收集桶的光刻胶输出端连通，所述电机驱动泵上有第二排气管路；其特征在于，还包括：

第一电磁阀，位于第二排气管路上，关闭时，使光刻胶留在第二排气管路内；

光刻胶回收管路，将第二排气管路与气泡收集桶连接，使电机驱动泵内的光刻胶输出至气泡收集桶，且与第二排气管路的接口位于第一电磁阀和电机驱动泵之间；

第二电磁阀，位于光刻胶回收管路上，开启时，使光刻胶从电机驱动泵经由光刻胶回收管路输入至气泡收集桶。

2. 根据权利要求1所述的光刻胶气泡排除系统，其特征在于：在光刻胶回收管路与第二排气管路的接口处安装有三通电磁阀；当排气泡时，与第一电磁阀连通的通路关闭，与第二电磁阀及电机驱动泵气泡连通的通路开启；当排气泡结束后，与第一电磁阀电机驱动泵气泡输出口连通的通路开启，与第二电磁阀连通的通路关闭。

3. 一种光刻胶气泡排除的方法，其特征在于，包括下列步骤：

a.将第二排气管路上的第一电磁阀关闭，光刻胶回收管路上的第二电磁阀开启；

b.将气泡收集桶中的光刻胶通过光刻胶运送管路输入电机驱动泵中；

c.电机驱动泵将光刻胶压出至第二排气管路中，并输入光刻胶回收管路；

d.光刻胶通过第二电磁阀和光刻胶回收管路输入气泡收集桶；

e.光刻胶中的气泡通过气泡收集桶上的第一排气管路排出。