[发明专利]一种纳米尺度孪晶铜薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200710037907.5 | 申请日： | 2007-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101016616A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 谢琦;蒋玉龙;屈新萍;茹国平;李炳宗 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/18;C23C14/58;C22F1/08 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 尺度 孪晶铜 薄膜 制备 方法 | ||
【说明书】：
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