[发明专利]一种判断热电偶是否可回收再利用的方法

说明书

技术领域

本发明涉及热电偶的回收，特别涉及一种判断热电偶是否可回收再利用的方法。

背景技术

在半导体制造领域，温度是最重要的控制参数之一，故各种长度的热电偶被用来侦测不同工艺步骤的工艺温度，现通常使用的热电偶是由金属铂或铂铑合金制成，其造价昂贵，当长度较长的热电偶出现问题时，为节约成本通常将该热电偶进行回收再利用。

但现有的回收利用方法，仅单纯的将热电偶有粗细不均、断裂和毛边的部分剪除后，然后再制作焊点进行回收再利用，如此将很难确保热电偶测温的准确度，使测温不准的热电偶进入制造工序而造成巨大的经济损失。

发明内容

本发明的目的在于提供一种判断热电偶是否可回收再利用的方法，通过所述方法可确保回收的热电偶能准确测定温度。

本发明的目的是这样实现的：一种判断热电偶是否可回收再利用的方法，该方法先判断待回收热电偶是否有外观缺陷，当有外观缺陷时判定该待回收热电偶无法进行回收利用，当无外观缺陷时继续进行判断，该方法还包括以下步骤：(1)将该无外观缺陷的待回收热电偶和标准热电偶设置在同样的温度环境下；(2)改变该温度环境的温度并使其涵盖该待回收热电偶的量程范围；(3)记录该待回收热电偶和标准热电偶测得的电压值；(4)计算出该待回收热电偶和标准热电偶的电压差值并取得对应的温度差值；(5)依据该温度差值判断该待回收热电偶是否可回收再利用。

在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，该步骤(5)包括以下步骤：(50)判断该温度差值是否大于一容许差值，若是则继续步骤(52)，若否，则继续步骤(51)；(51)判断该温度差值是否分布在同一直线上，若是则判定该待回收热电偶可回收再利用，若否，则继续步骤(52)；(52)判断该待回收热电偶是否短于一最小长度，若是，则判定该待回收热电偶无法进行回收利用，若否，则从热电偶焊点处截去一固定长度并重新制作焊点后再返回步骤(2)。

在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，通过显微镜判断该待回收热电偶是否有外观缺陷。

在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，该容许差值为正负2℃。

在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，该最小长度为41.9cm。

在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，该固定长度为10cm。

与现有技术相比，本发明在判断出待回收热电偶无外观缺陷后，使用该待回收热电偶和标准热电偶测试同样的温度且取得温度差值，并依据该温度差值判断该待回收热电偶是否可回收再利用，如此可确保回收再利用的热电偶测温准确。

附图说明

本发明的判断热电偶是否可回收再利用的方法由以下的实施例及附图给出。

图1为本发明的判断热电偶是否可回收再利用的方法的实施例的流程图。

具体实施方式

以下将对本发明的判断热电偶是否可回收再利用的方法作进一步的详细描述。

本发明的判断热电偶是否可回收再利用的方法首先进行步骤S10，判断待回收热电偶是否有外观缺陷，若有则继续步骤S19，若无则继续步骤S11。

在本实施例中，通过显微镜和宏观观察来判断所述待回收热电偶是否有外观缺陷，所述外观缺陷包括粗细不均、断裂和毛边等。

在步骤S11中，将所述待回收热电偶和标准热电偶设置在同样的温度环境下。然后继续步骤S12。

在步骤S12中，改变所述温度环境的温度值并使其涵盖所述待回收热电偶的量程范围。然后继续步骤S13。在本实施例中，所述量程范围为300℃至1000℃。

在步骤S13中，记录所述待回收热电偶和标准热电偶测得的电压值。然后继续步骤S14。

在步骤S14中，计算出所述待回收热电偶和标准热电偶的电压差值，并取得对应的温度差值。然后继续步骤S15。

在步骤S15中，判断所述温度差值是否大于一容许差值，若是则继续步骤S18，若否，则继续步骤S16。在本实施例中，所述容许差值为正负2℃

在步骤S16中，判断所述温度差值是否分布在同一直线上，若是则继续步骤S17，若否，则继续步骤S18。

在步骤S17中，判定所述待回收热电偶可回收再利用。

在步骤S18中，判断所述待回收热电偶是否短于一最小长度，若是，则继续步骤S19，若否，则继续步骤S110。在本实施例中，所述最小长度为41.9cm。

在步骤S19中，判定所述待回收热电偶无法进行回收利用。