[发明专利]一种用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统和方法无效
申请号: | 200710038220.3 | 申请日: | 2007-03-20 |
公开(公告)号: | CN101269296A | 公开(公告)日: | 2008-09-24 |
发明(设计)人: | 李雨庭 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B01D53/75 | 分类号: | B01D53/75 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 处理 多种 有害 气体 混合 产生 废气 系统 方法 | ||
1. 一种用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统,包括用于处理工艺产生的粉尘、结晶物及一般废气的湿式洗涤机和用于处理含氟或含氯的特殊废气成分的干式洗涤机,其特征在于:所述的湿式洗涤机和干式洗涤机之间还包括气液分离装置,多种有害气体混合产生的废气依次经过湿式洗涤机和气液分离装置后分离成液体和气体,再使该分离出的气体经过干式洗涤机处理并排出。
2. 如权利要求1所述的用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统,其特征在于:所述的干式洗涤机中装有吸附器,用于去除废气中氟或氯的成分。
3. 如权利要求1所述的用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统,其特征在于:经气液分离装置分离出来的液体被回收至湿式洗涤机重复利用。
4. 一种用于处理多种有害气体混合产生的废气的方法,其特征在于,所述方法包括下列步骤:
a.使多种有害气体混合产生的废气经过湿式洗涤机处理,去除废气中的有毒有害的粉尘、结晶物及一般废气;
b.将步骤a处理后的气液混合物分离成液体和气体;
c.使步骤b分离出来的气体通过干式洗涤机处理后排出。
5. 如权利要求4所述的用于处理多种有害气体混合产生的废气的方法,其特征在于:步骤b中分离出来的液体被回收至湿式洗涤机重复利用。
6. 如权利要求4所述的用于处理多种有害气体混合产生的废气的方法,其特征在于:所述的干式洗涤机中装有吸附器,用于去除废气中氟或氯的成分。
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