[发明专利]用于电容结构的测试装置及其保护装置有效
| 申请号： | 200710040009.5 | 申请日： | 2007-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN101295006A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 梁山安;章鸣;陈强;郭志蓉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/12;H02H3/08;H01H85/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈炜 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电容 结构 测试 装置 及其 保护装置 | ||
1.一种用于电容结构的测试装置的保护装置，其中所述用于电容结构的测试装置包括至少两个第一焊盘，用于分别连接待测电容结构的各个极板，所述保护装置包括：
第二焊盘；以及
限流装置，所述限流装置串接于所述至少两个第一焊盘中的一个和所述第二焊盘之间，其中当通过所述限流装置的电流大于一电流阈值时，所述限流装置自动断开，并且其中所述电流阈值至少部分根据所述用于电容结构的测试装置的漏电流标准规格电流而确定。
2.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述限流装置与所述第一和第二焊盘通过通孔连接。
3.如权利要求2所述的保护装置，其特征在于，所述通孔由钨制成。
4.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述第一和第二焊盘由铝制成。
5.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述第一和第二焊盘由铜制成。
6.如以上任一权利要求所述的保护装置，其特征在于，所述限流装置为保险丝。
7.如权利要求6所述的保护装置，其特征在于，所述保险丝由铝制成。
8.如权利要求6所述的保护装置，其特征在于，所述保险丝由多晶硅制成。
9.一种用于电容结构的测试装置，包括：
至少两个第一焊盘，用于分别连接待测电容结构的各个极板；
如以上任一权利要求所述的保护装置；以及
测试电源，用于将测试电压施加在所述至少两个第一焊盘中的另一个和所述第二焊盘之间。
10.如权利要求9所述的电容结构测试装置，其特征在于，所述待测电容结构为MIM结构。
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