[发明专利]超疏水性SiC纳米纤维的合成方法

权利要求书

1、一种超疏水性SiC纳米纤维的合成方法，其特征在于，采用硅片作为反应衬底和硅源，以固态碳材料为前驱体，以惰性气体氩气为保护气体及载气，以ZnS粉末为选择性辅助剂，在硅片上生长成SiC纳米纤维，再在合成出的SiC纳米纤维表面蒸镀一层全氟硅烷，从而得到接触角高于150度的超疏水性能SiC纳米纤维样品。

2、根据权利要求1所述的超疏水性SiC纳米纤维的合成方法，其特征是，包括步骤如下：

第一步，将硅片或底端添加ZnS粉末的硅片放入石英管式炉中央，碳固态碳材料被固定在石英管一侧；

第二步，将炉体温度升高到1100℃，在温度达到250℃时，通入惰性气体氩气；

第三步，在反应温度1100℃下，保持腔内气体流量，反应持续进行，反应完后将反应产物取出，在硅片表面得到大量SiC纳米纤维；

第四步，将得到的SiC纳米纤维和全氟硅烷密封一并放入不锈钢器罐中，进行蒸镀，得到具有超疏水性能的SiC纳米纤维样品。

3、根据权利要求2所述的超疏水性SiC纳米纤维的合成方法，其特征是，第一步中，反应在卧式石英管式炉中进行，碳固态碳材料通过烧结固定于石英管气体通入的一侧。

4、根据权利要求2所述的超疏水性SiC纳米纤维的合成方法，其特征是，第二步中，所述的将炉体温度升高到1100℃，升温速率为15℃/min。

5、根据权利要求2所述的超疏水性SiC纳米纤维的合成方法，其特征是，第二步中，所述的通入惰性气体氩气，气体流量为15l/h。

6、根据权利要求2所述的超疏水性SiC纳米纤维的合成方法，其特征是，第三步中，所述的反应持续进行，持续时间为2-4小时。

7、根据权利要求2所述的超疏水性SiC纳米纤维的合成方法，其特征是，第四步中，所述的全氟硅烷体积为0.05-0.2ml。

8、根据权利要求2所述的超疏水性SiC纳米纤维的合成方法，其特征是，第四步中，所述的蒸镀反应温度为150度。

9、根据权利要求2或8所述的超疏水性SiC纳米纤维的合成方法，其特征是，第四步中，所述的蒸镀反应时间为3.0小时。