[发明专利]激光自动准直系统无效
| 申请号： | 200710041062.7 | 申请日： | 2007-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101059334A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 于海波;梁晓燕;冷雨欣;杜鹃;许毅;何晋平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;H01L41/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 自动 系统 | ||
1、一种激光自动准直系统，包括入射光源(1)、CCD探头(7)、计算机(8)、反馈控制电路(9)，其特征在于：在所述的入射光源(1)的主光路上依次放置：有第一反射镜(21)的第一带压电陶瓷镜座(2)、有第二反射镜(31)的第二带压电陶瓷镜座(3)、固定反射镜(4)、采样反射镜(5)、会聚透镜(6)；
所述的第一带压电陶瓷镜座(2)和第二带压电陶瓷镜座(3)平行放置，未加电压时，由入射光源(1)发出的光线入射到第一带压电陶瓷镜座(2)的第一反射镜(21)的入射角为45度，再由所述的第一带压电陶瓷镜座(2)的第一反射镜(21)反射的光入射到第二带压电陶瓷镜座(3)的第二反射镜(31)的入射角为45度；所述的固定反射镜(4)和采样反射镜(5)平行放置，由所述的第二带压电陶瓷镜座(3)的第二反射镜(31)反射的光线入射到所述的固定反射镜(4)的入射角为45度，由所述的固定反射镜(4)反射的光线入射到所述的采样反射镜(5)的入射角为45度；
所述的会聚透镜(6)垂直于所述的采样反射镜(5)的反射光线且使光束通过该会聚透镜(6)的光心，所述的CCD探头(7)的感光面与所述的会聚透镜(6)的焦平面重合，所述的CCD探头(7)的输出端与所述的计算机(8)的输入端相连，所述的计算机(8)的输出端与所述的反馈控制电路(9)的输入端相连，所述的反馈控制电路(9)的两个输出端分别与所述的第一带压电陶瓷镜座(2)的两个压电陶瓷驱动器相连，该反馈控制电路(9)的另外两个输出端分别与所述的第二带压电陶瓷镜座(3)的两个压电陶瓷驱动器相连，整个光路保持光线在同一水平面内。
2、根据权利要求1所述的激光自动准直系统，其特征在于所述的第一带压电陶瓷镜座(2)和第二带压电陶瓷镜座(3)的构成相同：包括一基板(14)，第一压电陶瓷驱动器(101)和第二压电陶瓷驱动器(102)对称放置在该基板(14)的两个顶角位置上，所述的第一压电陶瓷驱动器(101)上的第一调节旋钮(111)位于所述的基板(14)的顶角位置上，所述的第一压电陶瓷驱动器(101)上还设有第一压电陶瓷驱动导线(121)，所述的第二压电陶瓷驱动器(102)上的第二调节旋钮(112)、第二压电陶瓷驱动导线(122)与所述的第一调节旋钮(111)、第一压电陶瓷驱动导线(121)相对于所述的基板(14)的对角线对称设置，所述的基板(14)的第三顶角上还设有第三调节旋钮(13)，所述的第三调节旋钮(13)与基板(14)的接触点是不动点。
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