[发明专利]流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪

权利要求书

1、一种流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪，包括：转子(1)、挠性梁(2)、定子(3)，其特征在于，转子(1)与定子(3)通过挠性梁(2)连接为一体；

转子(1)包括旋转驱动线圈(8)、挠性补偿硬磁圆环(9)、绝缘层(10)、角动量层(11)，角动量层(11)又由第二基体(12)和环形腔体(13)构成，环形腔体(13)位于第二基体(12)内，旋转驱动线圈(8)设于绝缘层(10)的上表面，绝缘层(10)设于角动量层(11)的上表面，旋转驱动线圈(8)在以转子(1)的中心为圆心的圆周方向上呈对称分布，在绝缘层(10)的上表面，挠性补偿硬磁圆环(9)位于旋转驱动线圈(8)的外侧，并在以转子(1)中心为圆心的圆周方向上呈对称分布，所述转子(1)中的环形腔体(13)中注有金属流体，环形腔体(13)中的金属流体在旋转驱动线圈(8)所施加的旋转磁场的作用下旋转，产生角动量；

定子(3)包括第一基体(4)、检测电极(5)、反馈加矩静电电极(6)、挠性补偿硬磁极板(7)，在第一基体(4)的上表面的内侧分布着八个检测电极(5)，第一基体(4)的上表面的外侧分布着八个反馈加矩静电电极(6)、四个挠性补偿硬磁极板(7)，其中反馈加矩静电电极(6)、挠性补偿硬磁极板(7)处于同一个以定子(3)中心为圆心的圆环上，反馈加矩静电电极(6)、挠性补偿硬磁极板(7)的内径和外径分别相同，两个紧邻的反馈加矩静电电极(6)形成反馈加矩静电电极对，反馈加矩静电电极对与挠性补偿硬磁极板互相交替，八个检测电极(5)在圆周方向上呈对称分布，四对反馈加矩静电电极(6)和四个挠性补偿硬磁极板(7)在圆周方向都呈对称分布。

2、根据权利要求1所述的流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪，其特征是，所述的转子(1)上的环形腔体(13)的内径与旋转驱动线圈(8)在以转子(1)的中心为圆心的圆周方向上的内径相同。

3、根据权利要求1所述的流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪，其特征是，所述挠性梁(2)的结构为两头大、中间小的圆柱体，且圆柱体的两头大小相同，挠性梁(2)的两端分别与转子(1)和定子(3)的中心相连接，挠性梁(2)会随着转子(1)和定子(3)相对位置的偏移而发生相应的变形。

4、根据权利要求1或2所述的流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪，其特征是，所述转子(1)上的环形腔体(13)的外径与旋转驱动线圈(8)在以转子(1)中心为圆心的圆周方向上的外径相同。

5、根据权利要求1或2所述的流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪，其特征是，所述的相邻旋转驱动线圈(8)的电流相位差为90°。

6、根据权利要求1所述的流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪，其特征是，所述挠性补偿硬磁圆环(9)的内径与定子(3)上挠性补偿硬磁极板(7)在以定子(3)中心为圆心的圆周方向上的内径相同。

7、根据权利要求1或6所述的流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪，其特征是，所述挠性补偿硬磁圆环(9)的外径与定子(3)上挠性补偿硬磁极板(7)在以定子(3)中心为中心的圆周方向上的外径相同。

8、根据权利要求1或6所述的流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪，其特征是，所述挠性补偿硬磁圆环(9)与转子(1)绝缘层(10)相连接的一面为S极硬磁材料层、另一面为N极的硬磁材料层，而定子(3)上挠性补偿硬磁极板(7)亦为硬磁材料，挠性补偿硬磁极板(7)的面向转子(1)的一面为N极、另一面为S极。