[发明专利]流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺仪

权利要求书

1、一种流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺，包括：转子(1)、挠性梁(2)和定子(3)，其特征在于，转子(1)与定子(3)通过挠性梁(2)连接为一体；

转子(1)包括：旋转驱动线圈(8)、绝缘层(9)和角动量层(10)，角动量层(10)又由第二基体(11)和环形腔体(12)构成，绝缘层(9)设于角动量层(10)的上表面，旋转驱动线圈(8)设于绝缘层(9)的上表面，旋转驱动线圈(8)在以转子(1)的中心为圆心的圆周方向上呈对称分布，环形腔体(12)位于第二基体(11)内，转子(1)中的环形腔体(12)中注有金属流体，环形腔体(12)中的金属流体在旋转驱动线圈(8)所施加的旋转磁场的作用下旋转，产生角动量；

定子(3)包括：第一基体(4)、检测电极(5)、反馈加矩线圈(6)和挠性补偿静电电极(7)，在第一基体(4)的上表面的内侧分布着八个检测电极(5)，第一基体(4)的上表面的外侧分布着四个反馈加矩线圈(6)、八个挠性补偿静电电极(7)，反馈加矩线圈(6)和挠性补偿静电电极(7)处于同一个以定子(3)中心为圆心的圆环上，且两个紧邻的挠性补偿静电电极(7)形成挠性补偿静电电极对，反馈加矩线圈(6)与挠性补偿静电电极对彼此交替，八个检测电极(5)在圆周方向上呈对称分布，四个反馈加矩线圈(6)和四对挠性补偿静电电极(7)在圆周方向都呈对称分布。

2、根据权利要求1所述的流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺，其特征是，所述的转子(1)上的环形腔体(12)的内径与旋转驱动线圈(8)在以转子(1)的中心为圆心的圆周方向上的内径相同。

3、根据权利要求1所述的流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺，其特征是，所述的挠性梁(2)会随着转子(1)和定子(3)相对位置的偏移而发生相应的变形。

4、根据权利要求1或2所述的流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺，其特征是，所述的转子(1)上的环形腔体(12)的外径与旋转驱动线圈(8)在以转子(1)中心为圆心的圆周方向上的外径相同。

5、根据权利要求1或2所述的流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺，其特征是，相邻旋转驱动线圈(8)的电流相位差为90°。

6、根据权利要求1所述的流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺，其特征是，所述的挠性梁(2)的结构为两头大、中间小的圆柱体，且圆柱体的两头大小相同，挠性梁(2)的两端分别与转子(1)和定子(3)的中心相连接。

7、根据权利要求1所述的流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺，其特征是，所述的反馈加矩线圈(6)根据检测电极(5)检测到转子(1)的偏离情况，通过在反馈加矩线圈(6)上施加电压产生电磁力使转子(1)恢复到平衡位置，实现对转子(1)的反馈控制。

8、根据权利要求1或2所述的流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺，其特征是，所述的转子(1)的基体材料为镍。