[发明专利]一种宏观半导体材料性能的测试装置无效
| 申请号： | 200710041646.4 | 申请日： | 2007-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN101059440A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张宁;郁可;李琼;朱自强;黄勇;崔庆月 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/66 | 分类号： | G01N21/66;G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程宗德 |
| 地址： | 200062*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 宏观 半导体材料 性能 测试 装置 | ||
1.一种宏观半导体材料性能的测试装置，其特征在于包括：真空室(1)、进气导管(2)、出气导管(3)、内接导线(4)、样品放置台(5)、进气控制阀(6)、电极(7)、真空室盖(8)、真空泵(9)、稳压电源(10)和储气瓶(11)，其中，真空室盖(8)置于真空室(1)的上端，储气瓶(11)与进气导管(2)相连，进气控制阀(6)可以控制储气瓶(11)中的气体进入真空室(1)的流量；出气导管(3)与真空泵(9)相连，样品放置台(5)为在玻璃载玻片上固定两根平行的薄铜片，测量时宏观半导体材料架在两根薄铜片上，内接导线(4)的一端与样品放置台(5)的薄铜片相连接，另一端与电极(7)相连接，而且两电极(7)分别与稳压电源(10)的正负极相连
2.如权利要求1所述的宏观半导体材料性能的测试装置，其特征在于真空室盖(8)为观测玻璃或者带真空计的金属盖。
3.如权利要求1所述的宏观半导体材料性能的测试装置，其特征在于在样品放置台(5)的下端放置一个载物台(21)，且用固定螺栓(22)将样品放置台(5)固定在载物台(21)上。
4.如权利要求1所述的宏观半导体材料性能的测试装置，其特征在于在真空室(1)上端开口处有一圈凹槽，放置有橡胶密封圈(23)。
5.如权利要求1所述的宏观半导体材料性能的测试装置，其特征在于在电极引出处放了有机绝缘层(24)，且用紧固螺母(25)固定。
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