[发明专利]一种旋转交换的双台系统

权利要求书

1、一种旋转交换的双台系统，用于一具有主框架且具有两作业位的电子设备中，其特征在于，该旋转交换的双台系统包括设置在主框架上的基台、对应该两作业位且对称设置在该基台上的第一及第二作业台、用于驱动基台沿该基台中心转动的基台驱动装置以及用于控制基台驱动装置驱动基台转动以实现第一作业台与第二作业台换位的控制模块，

其中该主框架包括U型支架、平均分布在U型支架底部的多个减震结构以及设置在减震结构上用于支撑基台的支撑台，

该旋转交换的双台系统还包括设置在支撑台上且用于将基台锁固在该支撑台上的基台锁固单元，该控制模块还控制基台锁固单元将基台锁固在支撑台上。

2、如权利要求1所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该第一及第二作业台均包括平行排布在基台一侧的两X向导轨、跨设在该两X向导轨间的Y向导轨、设置在该Y向导轨上且用于承载硅片的承片台、分别驱动该承片台沿X方向以及Y方向运动的X向驱动单元以及Y向驱动单元。

3、如权利要求2所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该X向驱动单元以及Y向驱动单元驱动承片台的运动均满足质心驱动原则。

4、如权利要求2所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该X向驱动单元及Y向驱动单元均为直线电机。

5、如权利要求1所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该控制模块包括一设置在基台上且用于检测基台转动角度的检测单元以及一用于控制基台驱动装置驱动基台转动的控制单元。

6、如权利要求1所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该支撑台为气浮支撑台。

7、如权利要求1所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该基台驱动装置设置在该支撑台的底部。

8、如权利要求1所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该基台锁固单元为电磁耦合装置。

9、如权利要求1所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该U型支架末端还设置有用于驱动基台减速的减速模块。

10、如权利要求1所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该基台驱动装置为伺服电机。

11、如权利要求1所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该基台驱动装置包括一伺服电机以及一与伺服电机相连的变速装置。

12、如权利要求1所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该电子设备为光刻机。

13、如权利要求12所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该光刻机具有一上片模块和一下片模块。

14、如权利要求12所述的旋转交换的双台系统，其特征在于，该两作业位分别为对准测量位和曝光位。