[发明专利]热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法

权利要求书

1、一种热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征在于，采用镀金硅片作为反应衬底和硅源，以镀金硅片中的金为反应催化剂，以惰性气体氩气为保护气体，在硅片上生长二氧化硅纳米纤维，再在合成出的二氧化硅纳米纤维表面蒸镀一层全氟硅烷，得到接触角高于150度的超疏水性能二氧化硅纳米纤维。

2、根据权利要求1所述的热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征是，包括步骤如下：

第一步，将通过磁控溅射得到的镀金硅片放入石英管式炉中央；

第二步，将炉体温度升高到反应温度1200℃-1400℃，在开始升温时，通入惰性气体氩气；

第三步，在反应温度下，保持腔内气体流量，反应持续进行，反应完后将反应产物取出，在硅片表面得到大量二氧化硅纳米纤维；

第四步，将得到的二氧化硅纳米纤维和全氟硅烷密封一并放入不锈钢器罐中，进行蒸镀反应，得到具有超疏水性能的二氧化硅纳米纤维。

3、根据权利要求2所述的热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征是，第一步中，所述磁控溅射，其时间为5-15分钟。

4、根据权利要求2或3所述的热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征是，第一步中，所述石英管式炉，为卧式石英管式炉。

5、根据权利要求2或3所述的热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征是，第一步中，所述镀金硅片，其大小为1cmX1cm。

6、根据权利要求2所述的热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征是，第二步中，所述升温，其速率为10℃/min。

7、根据权利要求2或6所述的热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征是，第二步中，所述通入惰性气体氩气，气体流量为50-400ml/min。

8、根据权利要求2所述的采用热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征是，第三步中，所述的反应持续进行，持续时间为3-6小时。

9、根据权利要求2所述的采用热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征是，第四步中，所述全氟硅烷，其体积为0.05-0.2ml。

10、根据权利要求2或9所述的采用热蒸发镀金硅片合成疏水性二氧化硅纳米纤维的方法，其特征是，第四步中，所述蒸镀反应，其温度为150度，时间3.0小时。