[发明专利]一种硅基锆钛酸铅铁电厚膜的制备方法

权利要求书

1.一种硅基锆钛酸铅铁电厚膜的制备方法，包括先驱体的配制、 甩胶、干燥、热解、退火步骤，其特征在于包括下述步骤：

(1)将醋酸铅、异丙醇锆、正丙醇钛加入有机溶剂中，采用聚 乙烯醇和乙酰丙酮控制粘度和稳定度，在干燥气氛下通过蒸馏，回流， 过滤配制成锆钛酸铅铁电厚膜先驱体溶液，溶液的浓度大于0.5摩尔 /升，所述的有机溶剂溶剂为乙二醇甲醚或醋酸，乙二醇甲醚或醋酸 与聚乙烯醇与乙酰丙酮的体积比为：20～40∶5∶1～2；

(2)在清洗的硅基片上制备镍酸镧过渡层；

(3)在镍酸镧过渡层上通过锆钛酸铅铁电厚膜先驱体溶液的甩 胶、干燥、退火备所需厚度的厚膜材料。

2.按权利要求1所述的一种硅基锆钛酸铅铁电厚膜的制备方 法，其特征在于所述的镍酸镧过渡层制备方法是以醋酸镍和醋酸镧为 起始原料，溶解在醋酸和水的混合溶液中，形成浓度为0.2摩尔/升 的镍酸镧先驱体溶液，将镍酸镧先驱体溶液通过甩胶沉积到处理好的 硅基片上，经过干燥、热解、退火制备。

3.按权利要求1或2所述的一种硅基锆钛酸铅铁电厚膜的制备 方法，其特征在于过渡层的厚度在100～300纳米。