[发明专利]电阻温度系数测量方法有效
申请号: | 200710042392.8 | 申请日: | 2007-06-22 |
公开(公告)号: | CN101329295A | 公开(公告)日: | 2008-12-24 |
发明(设计)人: | 周柯;范伟海;朱月芹 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N27/14 | 分类号: | G01N27/14;G06F19/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陈亮 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电阻 温度 系数 测量方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种电阻温度系数测量方法。
背景技术
目前,为了测量电阻温度系数(Temperature coefficient ofresistance,TCR),通常的做法是,利用一热盘逐渐加热电阻,并测量电阻在不同温度下的阻值,获得一R~T曲线,例如图1所示的曲线中,分别测量该电阻在25℃、50℃、100℃、150℃下的电阻值,通过直线拟合,获得R~T关系曲线,并求出R与T的函数关系R=0.1006T+27.485。因此例如25℃时的电阻温度系数
TCR(25℃)=ΔR/ΔT/R(25℃)=0.1006/(0.1006*25+27.485)≈0.0033/℃
这种方法需要耗费很多时间在热盘温度的上升、下降和稳定过程中,尤其是在目标的自动测量系统中更是如此。而由于即使对于同一个电阻,其TCR也并不是固定不变的,每次测量都需要使用热盘加热获得R~T曲线,这将耗费很多时间。鉴于此,有必要提出一种可以快速测量TCR的方法。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种可以快速测量电阻温度系数的电阻温度系数测量方法。
本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种电阻温度系数测量方法,包括以下步骤。首先,用电流I对待测电阻R加热,记录加热过程中电阻阻值R随电流I的变化;其次,利用电阻R和电流I查询一第二表格,确定一与电阻R有关的第一变量I2R;再者,查找一第一表格,确定第一变量I2R与温度T的关系;以及查询一预定的数据库,确定电阻温度系数TCR。该预定数据库通过计算公式(1)来计算TCR。
由于上述公式(1)中,可由T~I2R斜率(又称Rth,ThermalResistance,热阻)导出,而Rth对于相同结构(相同长度和厚度)的电阻是相对固定的值,可以事先以与上述待测电阻相同结构的电阻进行测量获得,借此建立包含I2R~T关系的预定的第一表格,以供后来测量TCR时使用。
测量步骤包括:
利用热盘(Hot Chuck)对所述电阻加热,获得其阻值与温度的关系R~T;
利用电流I对所述电阻加热,获得其阻值与电流的关系R~I;
无论是采用热盘加热,还是采用电流加热,相同的电阻总是对应相同的温度,根据上述R~T关系和R~I关系就可获得一组阻值、电流和温度的对应关系,根据该对应关系,求出I2R~T的关系,即获得对应温度T的上述R、I、T及均可保存在第一表格中。
第一表格建立后,可以供后来计算用,因此以后测量同种结构的电阻的TCR,只需采用电流加热,求得再利用已知的即可利用公式(1)求得TCR。由于电流加热的过程十分迅速,且不需测量温度,因此并没有温度升降和稳定的控制,因此采用电流加热方法将能快速获得电阻的TCR。
附图说明
为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂,以下结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明,其中:
图1是现有的测量电阻温度系数的曲线示意图。
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