[发明专利]用于物理气相沉积装置的辅助治具及其维护方法有效
| 申请号： | 200710042419.3 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101328571A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 孙佳儒;周锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 物理 沉积 装置 辅助 及其 维护 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种物理气相沉积装置，所述的物理气相沉积装置具有腔体、加热板和 辅助治具，所述的辅助治具包括：用于承载晶圆的沉积环，套设在沉积环上的 圆环盖板，用于覆盖腔体内侧的数块挡板，以及加热板预热时使用的挡片，其 特征在于，所述沉积环的外径与圆环盖板的内径大小相匹配，当圆环盖板套设 在沉积环上时，两者不发生相对移动。
2.如权利要求1所述的物理气相沉积装置，其特征在于：所述挡片的边缘 为直角。
3.一种维护如权利要求1所述的物理气相沉积装置的方法，其特征在于： 对所述的辅助治具进行清洗，并于清洗之后执行一高温烘干步骤。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于：所述的高温烘干步骤在大于100 摄氏度的氮气环境中进行。
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