[发明专利]有机预涂金属板上硅氧氟涂层的制备方法

权利要求书

1.一种有机预涂金属板上硅氧氟涂层的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：

a)在等离子体环境中对所述有机预涂金属板进行表面清洗和表面活化；

b)使用等离子体增强化学气相沉积方法，在有机预涂金属板的有机涂层上沉积形成Si_xO_yF_z薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其中步骤a)产生等离子体的气体是氧气、氮气、氢气、氩气中的任意一种或几种气体的组合。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其中所述表面活化的时间控制在0.5～200秒之间。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其中步骤b)所述等离子体增强化学气相沉积方法包括：

-将含Si、O、F的一种或几种前驱体通过加热，以氩气作为载气，同时通入氧气，在等离子发生器作用下形成等离子体，进行等离子化学气相沉积。

5.根据权利要求1或4所述的方法，其中所述的步骤a)和/或b)在真空环境下进行，该真空环境的真空度范围为1×10^-6～1×10^-2Pa。