[发明专利]基于数字微镜和数据合成技术的透明物体或反射物体的形貌测量装置和方法

权利要求书

1.一种基于数字微镜和数据合成技术的透明物体或反射物体的形貌测量装置，由一个数字微镜(1)、一个由激光器(4)、准直透镜(3)和可调光阑(2)构成的光源照射系统、二个带CCD摄像机(7、8)的图像接收系统和两个反射镜(5、9)或两个半透半反射镜(11、13)组成，其特征在于从光源照射系统来的光束经数字微镜的光束调制、反射和分光后，经两个反射镜(5、9)的反射或经两个半透半反射镜的分光后，照射待测透明物体(16)或反射物体(12)，其透射光或反射光，直接或再经两个半透半反射镜(11、13)由图像接收系统的二个CCD摄像机(7、8)接收，实现对待测物体的高分辨率轮廓测量。

2.根据权利要求1所述的基于数字微镜和数据合成技术的透明物体或反射物体的形貌测量装置，其特征在于所述的光源照射系统的结构是：从所述的激光器(4)出射的扩散光束经准直透镜(3)后变成平行光束，可调光阑(2)控制出射光束口径，垂直入射到数字微镜(1)；所述的数字微镜(1)的光束调制、反射和分光是：数字微镜(1)与一个计算机(10)相连，在计算机(10)的控制下对光的强度进行调制，数字微镜(1)安装在三维调整支架上，对数字微镜(1)反射面方向进行多自由度调整；光束垂直其表面照射，在两个对称24度方向反射两束共轭光。

3.根据权利要求2所述的基于数字微镜和数据合成技术的透明物体或反射物体的形貌测量装置，其特征在于所述的带二个CCD摄像机(7、8)的图像接收系统的结构是：光束垂直入射到数字微镜(1)，在两个对称24度方向反射两束共轭光，分别经反射镜(5、9)反射后，投射到待测透明物体(6)，透射至两个CCD摄像机(8、7)接收。

4.根据权利要求2所述的基于数字微镜和数据合成技术的透明物体或反射物体的形貌测量装置，其特征在于所述的带二个CCD摄像机(7、8)的图像接收系统的结构是：光束垂直入射到数字微镜(1)，在两个对称24度方向反射两束共轭光，分别经两个半透半反射镜(11、13)反射后，投射到待测反射物体(12)，反射到两个半透半反射镜(13、11)后再透射至两个CCD摄像机(8、7)接收。

5.根据权利要求3或4所述的基于数字微镜和数据合成技术的透明物体或反射物体的形貌测量装置，其特征在于所述的两个CCD摄像机(8、7)连接一个计算机(10)。