[发明专利]炉管保养测试程式控制系统及控制方法有效
| 申请号： | 200710043868.X | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101349918A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 申谦;王静 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉管 保养 测试 程式 控制系统 控制 方法 | ||
1.一种炉管保养测试程式控制系统，其特征在于，包括：
侦测单元，用于侦测炉管是否进入保养状态；
锁定单元，用于当所述炉管进入保养状态时锁定所述炉管包含的所有配方；以及
激活单元，用于当炉管保养测试程式根据测试人员选择的要进行测试的配方组进行相应的测试后激活已进行过测试的相应配方组包含的各配方而使未进行测试的配方组包含的各配方处于未被激活的状态。
2.如权利要求1所述的炉管保养测试程式控制系统，其特征在于，所述炉管为扩散炉。
3.如权利要求1所述的炉管保养测试程式控制系统，其特征在于，所述炉管保养测试程式为major PM程式。
4.一种炉管保养测试程式控制方法，其特征在于，包括：
a)侦测炉管是否进入保养状态；
b)当所述炉管进入保养状态时锁定所述炉管包含的所有配方；以及
c)当炉管保养测试程式根据测试人员选择的要进行测试的配方组，进行相应的测试后，激活已进行过测试的相应配方组包含的各配方，而使未进行测试的配方组包含的各配方处于未被激活的状态。
5.如权利要求4所述炉管保养测试程式控制方法，其特征在于：所述炉管保养测试程式为major PM程式。
6.如权利要求5所述炉管保养测试程式控制方法，其特征在于步骤c)还包括：
(1)所述major PM测试程式将所有配方分成多组；
(2)所述major PM测试程式根据所述测试人员的对配方组的选择采用相应的配方组进行测试；以及
(3)经相关工程师确认后激活已进行过测试的配方组所包含的配方。
7.如权利要求4所述炉管保养测试程式控制方法，其特征在于：所述炉管为扩散炉。
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