[发明专利]研磨垫整理装置及研磨垫整理方法

权利要求书

1.一种研磨垫整理装置，包括支撑臂和修正盘，其特征在于：所述支撑臂上还安装有吸附器，所述吸附器包含磁性收集体，所述修正盘上镶有由不锈钢材料制成的颗粒，且所述磁性收集体与所述颗粒中一个为磁体，另一个为磁体或磁性材料。

2.如权利要求1所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述颗粒由磁化后的马氏体铬不锈钢磁体或马氏体铬镍不锈钢磁体制成。

3.如权利要求2所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述磁性收集体由铁、钴、镍合金中的一种制成。

4.如权利要求1所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述颗粒由马氏体铬不锈钢材料或马氏体铬镍不锈钢材料制成。

5.如权利要求4所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述磁性收集体为磁体。

6.如权利要求1所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述吸附器还包括与所述支撑臂相连接的底座，所述底座的下表面安装有所述磁性收集体，且所述磁性收集体与所述研磨垫间保持一定间距。

7.如权利要求1所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述吸附器还包括与所述支撑臂相连接的底座，所述底座的上表面安装有所述磁性收集体，且所述底座与所述研磨垫间保持一定间距。

8.如权利要求7所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述吸附器的底座的下表面，与所述磁性收集体对应的位置还安装有粘附体。

9.如权利要求1所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述吸附器的磁性收集体直接安装于所述支撑臂上，且所述磁性收集体与所述研磨垫间保持一定间距。

10.如权利要求9所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述磁性收集体安装于所述支撑臂的下表面。

11.如权利要求6、7中所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述吸附器安装于所述支撑臂靠近研磨垫中心的一边，且其与所述支撑臂间的夹角在10°至90°之间。

12.如权利要求11所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述吸附器的磁性收集体的形状为圆弧形，且相对于所述吸附器而言，所述圆弧形的圆心与所述修正盘在同一侧。

13.如权利要求11所述的研磨垫整理装置，其特征在于：所述吸附器的形状为条形。

14.一种研磨垫的整理方法，其特征在于，包括步骤：

利用镶有不锈钢颗粒的修正盘对所述研磨垫进行整理和修复；

利用与所述不锈钢颗粒之间具有磁吸引力的磁性收集体吸附脱落于研磨垫内的所述不锈钢颗粒。

15.如权利要求14所述的整理方法，其特征在于，利用镶有不锈钢颗粒的修正盘对所述研磨垫进行整理和修复，包括步骤：

令研磨垫旋转；

令研磨垫整理装置的支撑臂沿所述研磨垫径向往返运动；

令与所述支撑臂相连的所述研磨垫整理装置的修正盘进行与所述研磨垫同向的旋转。

16.如权利要求15所述的整理方法，其特征在于：所述磁性收集体与所述支撑臂相连，并随所述支撑臂一起沿所述研磨垫径向进行往返运动。

17.如权利要求14所述的整理方法，其特征在于：在所述支撑臂进行往返运动的过程中，与所述支撑臂相连的所述修正盘最多会有半个盘面运动至所述研磨垫外。