[发明专利]一种气体安全输送方法

说明书

技术领域

本发明涉及气体输送方法，尤其涉及一种气体安全输送方法。

背景技术

随着近年来国内半导体，微电子，平面显示，发光二极管行业的迅速发展， 国内对各类特气的需求日益增加。由于在这些特气中有相当一部分为危险性气 体，例如硅烷(SiH4)具有自燃性，磷烷(PH3)具有剧毒性等；因此需配置专门的 阀门组来控制阀门的吹扫。

目前国内多采用手动阀门来控制，具有以下潜在缺陷：

1.在出现气体泄漏等危险情况下需要手动来关闭阀门，对于操作人员有 极大的危险性；同时由于关断动作在时间上的延后，不能保证设备的实时关断， 因此可能造成泄漏等危险的进一步扩散。

2.在气瓶内气筒用完后，需要人工吹扫和切换钢瓶，造成气体输送的中 断，影响生产。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种能够极大地 提高特殊气体输送安全性的气体安全输送方法。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：一种气体安全输送方法，其特 征在于，该方法包括控制器，该控制器改常规的手动阀为气动阀，同时由电磁 阀来控制气动阀的驱动起源，实现阀门的远程控制和自动控制，通过可编程逻 辑控制器采集外接的各类传感器和报警器输入的型号，按照既定的逻辑控制程 序，自动关闭气动阀，停止气体输送，一旦有报警型号输入，面板上的报警指 示灯会立即工作，同时发出声音报警，提示操作人员，可编程逻辑控制器会实 时监控气体余量，一旦余量低于既定设置值，将自动切换到另一侧待机状态的 钢瓶进行输送，同时关闭本侧气动阀，停止本侧输送。

所述的控制器包括报警指示灯、气体余量显示、送/停气按钮/灯、风压指 示、紧急切断按钮、气动阀、电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出 端子、开关电源、风压报警；所述的报警指示灯、气体余量显示、送/停气按钮 /灯、风压指示、紧急切断按钮设置于控制箱面板上，所述的电磁阀、可编程逻 辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警设置于控制器内部。

所述的电磁阀与由电磁阀控制驱动起源的气动阀相连。

所述的可编程逻辑控制器与外接的各类传感器和报警器相连。

所述的报警器包括火焰侦测器，气体泄漏侦测器，风压指示。

与现有技术相比，本发明采用一种新型控制器能够极大的提高特殊气体输 送的安全性，不但能够在危险发生时及时停止气体输送，防止危险的进一步扩 散，并且能够保证气体输送和工艺生产的连续性。

附图说明

图1为本发明控制箱面板结构示意图；

图2为本发明控制器内部结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明。

实施例：

如图1～图2所示，一种气体安全输送方法，该方法采用一种新型控制器， 该控制器改常规的手动阀为气动阀，同时由电磁阀6来控制气动阀的驱动起源， 实现阀门的远程控制和自动控制，通过可编程逻辑控制器7采集外接的各类传 感器和报警器输入的型号，按照既定的逻辑控制程序，自动关闭气动阀，停止 气体输送，一旦有报警型号输入，面板上的报警指示灯1会立即工作，同时发 出声音报警，提示操作人员，可编程逻辑控制器7会实时监控气体余量，一旦 余量低于既定设置值，将自动切换到另一侧待机状态的钢瓶进行输送，同时关 闭本侧气动阀，停止本侧输送。图1～图2中A为系统结构原理简图，该控制 阀包括报警指示灯1、气体余量显示2、送/停气按钮/灯3、风压指示4、紧急 切断按钮5、电磁阀6、可编程逻辑控制器7、断路器8、输入输出端子9、开 关电源10、风压报警11；所述的报警指示灯1、气体余量显示2、送/停气按钮 /灯3、风压指示4、紧急切断按钮5设置于控制箱面板上，所述的电磁阀6、 可编程逻辑控制器7、断路器8、输入输出端子9、开关电源10、风压报警11 设置于控制器内部。