[发明专利]芯片电阻的测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种芯片电阻的测量装置，特别涉及使用四个接线端进行测量电阻的装置。

背景技术

在半导体制造过程中，晶圆经过曝光、蚀刻、切割、封装后形成芯片(IC)，但芯片的性能还需经过产品可靠性测试来判断其性能的好坏，而其中芯片电阻测量是产品可靠性测试中非常重要的一个测试过程。

如图1所示，为一般芯片电阻的测量装置。在芯片电阻测量装置中，包括一陶瓷管壳18，位于陶瓷管壳18上形成有数个焊垫1～16，一封装的芯片20设置在陶瓷管壳18上进行测量。其中该封装的芯片20具有数个焊脚17a、17b，焊脚17a、17b通过打线L1、L2分别与陶瓷管壳18上的对应焊垫3、6电性连接，一电阻测量元件19比如万用表通过电阻为Rc的导线与焊垫3、6电性连接，用于测量芯片20的电阻。

如图2所示，为利用图1测量装置进行芯片电阻测量的电路原理图。测量元件19根据欧姆定律：R＝U/I，测得的电阻R’＝U/I＝R1+2*Rc，其中R1为芯片电阻，Rc为导线电阻，打线L1、L2的电阻可以忽略不计，且测得的电阻R’不等于芯片电阻R1，因为其中芯片电阻R1非常小且导线电阻Rc的存在会影响测量结果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种芯片电阻的测量装置，通过该芯片电阻的测量装置不仅能提高测量芯片电阻的精确度，而且测量操作简单、方便。

为了达到所述的目的，本发明提供了一种芯片电阻的测量装置，包括一陶瓷管壳，该陶瓷管壳包括数个焊垫，该数个焊垫设置于陶瓷管壳的四周区域，一封装芯片设置于陶瓷管壳的中间区域，该封装芯片具有数个焊脚，其中，四个所述焊垫与两个焊脚通过打线电性连接形成四个接线端，所述的四个接线端中的两个外部接线端与产生电流的元件电性连接，所述的四个接线端中的两个中间接线端与电压测量元件电性连接，所述的四个焊垫与两个焊脚连接时为两个焊垫通过打线与一个焊脚电性连接，另两个焊垫通过打线与另一个焊脚电性连接。

在上述的芯片电阻的测量装置中，所述的产生电流的元件为电流源。

在上述的芯片电阻的测量装置中，所述的电压测量元件为电压表。

在上述的芯片电阻的测量装置中，包括一陶瓷管壳，该陶瓷管壳包括数个焊垫，该数个焊垫设置于陶瓷管壳的四周区域，一封装芯片设置于陶瓷管壳的中间区域，该封装芯片具有数个焊脚，其特征在于：四个所述焊垫与两个焊脚通过打线电性连接形成四个接线端，所述的四个接线端中的两个外部接线端与产生电流的元件电性连接，所述的四个接线端中的两个中间接线端与电压测量元件电性连接，所述的四个焊垫与两个焊脚连接时为一个焊垫通过打线与一个焊脚电性连接，另一个焊垫通过打线与另一个焊脚电性连接，另外两个焊垫分别通过一根打线与焊脚对应连接的焊垫电性连接。

在上述的芯片电阻的测量装置中，包括一陶瓷管壳，该陶瓷管壳包括数个焊垫，该数个焊垫设置于陶瓷管壳的四周区域，一封装芯片设置于陶瓷管壳的中间区域，该封装芯片具有数个焊脚，其特征在于：四个所述焊垫与两个焊脚通过打线电性连接形成四个接线端，所述的四个接线端中的两个外部接线端与产生电流的元件电性连接，所述的四个接线端中的两个中间接线端与电压测量元件电性连接，所述的四个焊垫与两个焊脚连接时为一个焊垫通过打线与一个焊脚电性连接，另一个焊垫通过打线与另一个焊脚电性连接，另外两个焊垫分别通过两根打线与焊脚对应连接的焊垫电性连接。

本发明由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：本发明芯片电阻的测量装置可方便地测量芯片电阻，并且其测量精度也得到了明显的提高，对产品的可靠度会有及时的反应。只需增加两个接线端，可节约时间和成本。

附图说明

本发明的芯片电阻的测量装置由以下的实施例及附图给出。

图1为现有技术中常用的芯片电阻的测量装置结构图；

图2为利用图1测量装置进行芯片电阻测量的电路原理图；

图3为本发明芯片电阻的测量装置第一实施例示意图；

图4为利用图3测量装置进行芯片电阻测量的电路原理图；

图5为本发明芯片电阻的测量装置第二实施例示意图；

图6为本发明芯片电阻的测量装置第三实施例示意图。

具体实施方式

以下将对本发明的芯片电阻的测量装置作进一步的详细描述。