[发明专利]一种有机废水回收利用装置有效
申请号: | 200710044554.1 | 申请日: | 2007-08-03 |
公开(公告)号: | CN101357811A | 公开(公告)日: | 2009-02-04 |
发明(设计)人: | 张元俊;厉晓华;马霞萍 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | C02F9/14 | 分类号: | C02F9/14;C02F1/66;C02F3/08 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有机 废水 回收 利用 装置 | ||
技术领域
本发明涉及废水处理装置,尤其涉及一种有机废水回收利用装置。
背景技术
在半导体制造领域,诸多工序排出的废水中所含的化学物质种类确定,例如化学机械研磨(CMP)后排放下来的废水中主要含异丙醇(IPA)和柠檬酸,现对该些含异丙醇和柠檬酸的有机废水处理方式是直接将其排放至工厂中用于处理有机废水的处理装置,该处理装置会将该含异丙醇和柠檬酸的有机废水和含有其他成分的有机废水一并处理,但该些处理过的废水中所含的成分复杂无法回收利用,只能将其排放至自然水体中。但是,在半导体制造工厂中,很多工序例如进行冷却工艺的冷却塔,其对水的要求不是很高,但现工厂中的冷却塔还是使用较纯净的自来水或去离子水进行冷却。
如此,一方面存在着进行简单处理后就可回收利用的有机废水被白白浪费掉,另一方面无需使用自来水或去离子水的工序因无低等级水而使用自来水或去离子水的现象,因此工厂的用水成本会大大增加。
因此,如何提供一种有机废水回收利用装置以将有机废水处理后供其他用水单元回收利用,已成为半导体行业内亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种有机废水回收利用装置,通过所述处理装置可将该有机废水处理后供其他用水单元回收利用,可大大节约成本。
本发明的目的是这样实现的:一种有机废水回收利用装置,用于将有机废水的化学需氧量处理为不高于回收利用预设标准后供其他用水单元回收利用,该处理装置包括相互连接且分别用于收集有机废水的收集槽、用于将有机废水的PH值调节到一适于微生物生长的PH值预设范围的PH值调整槽、用于通过生物接触氧化法将废水中的有机物降解的接触氧化池、用于将废水中的悬浮物沉淀的沉淀槽、用于存储经沉淀槽沉淀后的废水的缓冲槽、用于将缓冲槽中所存储的废水进行过滤的过滤单元以及用于存储经过滤单元过滤后的废水的产水槽。
在上述的有机废水回收利用装置中,该PH调整槽中设置有PH值侦测单元、碱性加药单元和依据PH值侦测单元所侦测到的PH值驱动碱性加药单元加药以将废水的PH值调整至PH值预设范围内的调整槽控制单元。
在上述的有机废水回收利用装置中,该PH值预设范围为7至8。
在上述的有机废水回收利用装置中,该产水槽中设置有化学需氧量侦测单元、直排驱动单元、回流驱动单元和排放控制单元,其中,该化学需氧量侦测单元用于侦测产水槽中的化学需氧量,该直排驱动单元和该回流驱动单元分别用于驱动产水槽中的废水排放至其他用水单元和收集槽,当化学需氧量侦测单元侦测到化学需氧量未超过该回收利用预设标准时,该排放控制单元控制直排驱动单元驱动产水槽中的废水至其他用水单元,当化学需氧量侦测单元侦测到化学需氧量超过该回收利用预设标准时,该排放控制单元控制回流驱动单元驱动产水槽中的废水至收集槽。
在上述的有机废水回收利用装置中,该产水槽中还设置有消毒加药单元,当化学需氧量侦测单元侦测到化学需氧量未超过该回收利用预设标准时,该排放控制单元还控制消毒加药单元向产水槽添加预设剂量的消毒剂。
在上述的有机废水回收利用装置中,该收集槽的有机废水通过一收集槽驱动装置驱动至PH值调整槽。
在上述的有机废水回收利用装置中,该PH值调整槽中的废水通过溢流方式排放至接触氧化池。
在上述的有机废水回收利用装置中,该接触氧化池中的废水通过溢流方式排放至沉淀槽。
在上述的有机废水回收利用装置中,该缓冲槽中的有机废水通过一缓冲槽驱动装置驱动至过滤单元。
在上述的有机废水回收利用装置中,该其他用水单元为冷却塔或洗涤塔。
在上述的有机废水回收利用装置中,该过滤单元为砂滤塔。
在上述的有机废水回收利用装置中,该回收利用预设标准的范围为小于50百万分之一。
与现有技术中无有机废水回收利用装置而使较纯净的有机废水无法回收利用相比,本发明的有机废水回收利用装置先将有机废水的PH值调整到适宜微生物生长,然后通过生物接触氧化法将废水中的有机物分解,最后将其化学需氧量低于回收利用预设标准的废水排放至其他用水单元以使该废水被回收利用,如此可将该废水回收利用且在使用后直接排放,如此可大大节约成本。
附图说明
本发明的有机废水回收利用装置由以下的实施例及附图给出。
图1为本发明的有机废水回收利用装置的组成结构示意图。
具体实施方式
以下将对本发明的有机废水回收利用装置作进一步的详细描述。
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