[发明专利]空气分子污染采样辅助器件及采样方法有效
| 申请号： | 200710045078.5 | 申请日： | 2007-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN101373171A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 周金锋;桂柳;丁勇;陈华勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/24 | 分类号： | G01N1/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空气 分子 污染 采样 辅助 器件 方法 | ||
1.一种空气分子污染AMC采样辅助器件，与AMC采样装置结合使用，其特征在于，该AMC采样辅助器件提供一与待测试负压腔等压的环境，该AMC采样装置置于该AMC采样辅助器件中，在与待测试负压腔等压的环境中对AMC进行采样，消除压力差对AMC采样装置带来的影响；
该AMC采样辅助器件包括：
一密闭容器，用于放置该AMC采样装置；
一连接管道，连接至该待测试负压腔内部，使该密闭容器的内部与该待测试负压腔内部等压。
2.如权利要求1所述的AMC采样辅助器件，其特征在于，
所述AMC采样装置的采样管穿过所述连接管道到达待测试负压腔的内部进行AMC采样。
3.如权利要求2所述的AMC采样辅助器件，其特征在于，
该连接管道的直径大于该AMC采样装置的采样管。
4.如权利要求1-3中任一项所述的AMC采样辅助器件，其特征在于，还包括一接口部件，该AMC采样辅助器件通过该接口部件和所述连接管道与待测试负压腔相连接。
5.一种空气分子污染AMC采样方法，其特征在于，提供AMC采样辅助器件，与AMC采样装置结合使用，该AMC采样辅助器件提供一与待测试负压腔等压的环境，该AMC采样装置置于该AMC采样辅助器件中，在与待测试负压腔等压的环境中对AMC进行采样，消除压力差对AMC采样装置带来的影响；该AMC采样辅助器件包括一密闭容器和一连接管道；
在该密闭容器中放置该AMC采样装置；
通过所述连接管道，连接该待测试负压腔内部与该密闭容器内部，使该待测试负压腔内部与该密闭容器内部等压。
6.如权利要求5所述的AMC采样方法，其特征在于，
将AMC采样装置的采样管穿过所述连接管道到达待测试负压腔的内部进行AMC采样。
7.如权利要求6所述的AMC采样方法，其特征在于，
该连接管道的直径大于该AMC采样装置的采样管。
8.如权利要求5-7中任一项所述的AMC采样方法，其特征在于，将该AMC采样辅助器件通过一接口部件和所述连接管道与待测试负压腔相连接。
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