[发明专利]1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅无效
| 申请号： | 200710045141.5 | 申请日： | 2007-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101109831A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 周常河;冯吉军;王博;茹华一 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/28;G02B5/30 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 1550 纳米 波长 反射 偏振 光栅 | ||
【权利要求书】：
1.一种1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅，该光栅的TM偏振光和TE偏振光分别在0级和1级反射，光栅的占空比为0.5，其特征在于该光栅的周期为344～412纳米、刻蚀深度为1.076～1.205微米，光栅的占空比为1/2。
2.根据权利要求1所述的1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅，其特征在于所述的光栅的周期为397纳米，光栅的刻蚀深度为1.092微米。
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