[发明专利]一种大用量扩充管路输送液体和气体的方法无效

专利信息
申请号: 200710045482.2 申请日: 2007-08-31
公开(公告)号: CN101377266A 公开(公告)日: 2009-03-04
发明(设计)人: 张文武 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: F17D1/02 分类号: F17D1/02;F17D1/08
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所 代理人: 屈蘅
地址: 2012*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用量 扩充 管路 输送 液体 气体 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种大用量液体和气体的输送方法,尤其涉及一种大用量扩充管路输送液体和气体的方法。

背景技术

在现有的大用量气体的输送中,由于管路较粗,送气过程往往会有两大不利因素,即上游的压降和下游中产生的颗粒。上游产生的压降会使与之连接的机台产生停机的风险,而下游中产生的颗粒会影响系统的制程。传统上我们都是直接进行送气,利用缓慢打开或开停扩充阀的方式来减少上游的压降和下游的颗粒,但是这种控制没有一定的标准,仅凭经验和感觉来控制,这样一来就不能完全的消除上游的压降和下游的颗粒。

在利用扩充管路输送液体的方法与装置中,也存在同样的问题,即直接打开扩充阀,凭经验和感觉来控制上游的压降和在下游内对管路的撞击力,这样误差比较大,很难从根本上消除,并且也很难操作,现实中就发生过由于控制不当将下游管道中安装过滤器的盒子撞坏的例子。

发明内容

本发明是在原有的扩充管路输送气体或者液体的方法上作了一些改动,来减少上游产生的压降和下游产生的颗粒,使得整个系统更加安全。

为解决上述问题,本发明采用的方法为:

一种大用量扩充管路送气方法,包括:

步骤一:将送气管道和扩充管道的备用分支小管道用细管连接起来;

步骤二:打开送气管道和扩充管道的备用分支小管道上的手动阀,使送气管道中的气体通过细管输送到扩充管道中;

步骤三:等送气管道中的压力和扩充管道中的压力一致的时候,再打开扩充阀。

其中细管可以为金属管,玻璃管,软管,尺寸为,2分管或者3分管等,在输送有腐蚀性、有毒性气体时,应具有耐腐蚀性。

一种大用量扩充管路输送液体的方法,包括:

步骤一:将输送液体的管道和扩充管道的备用分支小管道用细管连接起来;

步骤二:打开输送液体管道和扩充管道的备用分支小管道上的手动阀,使输送液体管道中的液体通过细管输送到扩充管道中;

步骤三:等扩充管道中充满液体的时候,再打开扩充阀。

其中输送液体的时候,小管可以为6分管,一寸管等小管,在输送有腐蚀性,有毒性液体时,应具有耐腐蚀性。

其中在输送液体或者气体的的时候,细管的直径小于输送管道的直径。

本发明还提供了一种大用量扩充管路的装置,包括输送管路,安装在输送管路上的备用分支小管道及小管道上的手动阀,扩充管路,安装在扩充管路上的备用小管道及小管道上的手动阀,两个备用小管道之间用细管连接起来。

本发明由于采用了上述的方法,使之与现有技术相比具有以下的优点:

1,能够减少上游产生的压降,降低机台产生停机的风险;

2,能够减少下游中产生的颗粒,尽可能少的影响系统的制程;

3,方法简便,不增加成本。

附图说明

图1为现有的大用量送气装置示意图;

图2为改进后的大用量送气装置示意图;

图3为现有的大用量液体输送装置示意图;

图4为改进后的大用量液体输送装置示意图;

具体实施方式

本发明是在现有的大用量扩充管路送气系统或者大用量扩充管路输送液体系统进行的改进,其具体实施方式如下:

现有的大用量扩充管路送气装置如图1所示,包括供气管道1和扩充管道2,中间由扩充阀3连接,在供气管道和扩充管道上面分别装有直接送给机台用的备用分支小管道4和5,备用分支小管道4上有手动阀8,备用分支小管道5上有手动阀7。

本发明是将供气管道上的备用分支小管道4和扩充管道上的备用分支小管道5用细管6连接起来,然后在送气过程中,在打开扩充阀进行大量送气之前,先打开手动阀7和8,使上游供气管道中的气体通过细管6输送到下游的扩充管道中去;然后当上游与下游管道中的气体压力基本持平的时候,再打开扩充阀3,如图2所示。由于细管的直径远远小于供气管道的直径,这样一来,就会使上游扩充管道中的气压缓慢的输送,大大降低上游机台停机的风险,同时由于通过软管向下游扩充管路中输送的气体也非常缓慢,这样就使得下游产生的颗粒大大减少,提高系统的制程。

其中连接两个备用分支小管道的管道可以是任意的,可以为金属管,玻璃管,软管,但是使用软管的效果更好。当输送的是有毒或者有腐蚀性气体的话,就需要使用耐腐蚀性的细管,细管可以为3分管,2分管等小管。

理论上,当两个备用分支小管道的之间的距离越大,所需要的细管就也长,其降低上游的压降和减少下游颗粒的效果也就更加明显。

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