[发明专利]一种基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器无效
| 申请号： | 200710046546.0 | 申请日： | 2007-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101131373A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 张宁;郁可;雷玮;王有平;曹福全;朱自强 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程宗德 |
| 地址： | 20024*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 宏观 尺度 zno 材料 气体 传感器 | ||
1.一种基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器包括：基底(1)、金属电极层(2)、传感导电体(3)和外接电路(4)，其特征在于金属电极层(2)是通过丝网印刷工艺将银浆在绝缘基底(1)上印出金属电极层(2)图案，然后将金属片或金属丝粘附在银浆上，电极的厚度为1～3mm，电极间距为1mm；传感导电体(3)为宏观尺度ZnO单晶材料，该材料是通过热蒸发法由直径为60～800nm的ZnO纳米杆制备而成并将其用银浆粘在金属电极层(2)上，外接电路(4)的阳极和阴极分别连接在金属电极层(2)阳极和阴极。
2.如权利要求1所述的基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器，其特征在于基底(1)的为玻璃、石英片或者表面氧化有一层SiO2绝缘层的硅片。
3.如权利要求1所述的基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器，其特征在于金属电极层(2)的阳设计成“口”字缺少右边一竖，同时阴极设计成“口”字缺少左边一竖，且电极相互嵌入对方缺口，电极间距为1mm。
4.如权利要求1所述的基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器，其特征在于金属电极层(2)的阳极和阴极由多个“口”字重叠而成且分别缺少左边一竖和右边一竖，并互嵌入对方缺口，电极间距为1mm。
5.要求3或者4所述的基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器，其特征在于金属电极层(2)的阳极和阴极的设计互换。
6.如权利要求1所述的基于宏观尺度ZnO单晶材料的气体传感器，其特征在于作为传感导电体(3)的宏观尺度ZnO单晶材料设计成树枝状，且每根ZnO单晶材料均和阳极和阴极接触，从而增加了金属电极和作为传感导电体(3)的宏观尺度ZnO单晶材料充分接触。
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