[发明专利]用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法

权利要求书

1.一种用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法，其特征在于：用光刻技术制作凸起的圆柱形光刻胶，并采用热熔回流光刻胶形成球形凸点，在衬底上均匀覆盖一层聚合物，作为器件的底部保护材料，图形化形成金属电极点和导线，再覆盖聚合物作为器件顶部保护材料，图形化露出电极点和焊点，得到最终需要的球形凸起柔性微电极阵列。

2.根据权利要求1所述的用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法，其特征是，包括以下步骤：

第一步，清洗硅片，在硅衬底上溅射金属作为粘着层；

第二步，在金属层表面旋涂正性光刻胶，光刻形成小圆柱凸起结构；

第三步，在烘箱中加热熔化光刻胶，形成具有半球形结构的凸点。

第四步，在第三步基础上沉积具有生物相容性的聚合物作为制备的微电极阵列的下底包裹材料；

第五步，在第四步聚合物上旋涂光刻胶，图形化形成金属电极点和导线；

第六步，在图形化好的衬底上沉积聚合物作为制备的微电极阵列的上部包裹材料；

第七步，在第六步聚合物上旋涂光刻胶，光刻露出电极点所对应的顶端窗口，刻蚀聚合物，露出电极顶端；

第八步，去除光刻胶，将器件从衬底上剥离，释放电极，制成柔性微电极阵列。

3.根据权利要求2所述的用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法，其特征是，所述在烘箱中加热熔化光刻胶，是指：在烘箱中高温烘焙光刻胶，烘焙温度为160℃～200℃，时间为20～30分钟，光刻胶为正性光刻胶AZ4903。

4.根据权利要求1或2所述的用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法，其特征是，所制备的柔性微电极阵列电极点背部有一凹槽。