[发明专利]基于波长扫描的古斯汉欣位移的测量系统

权利要求书

1.一种基于波长扫描的古斯汉欣位移的测量系统，包括：可调谐激光器、偏振器、分束镜、小孔、倍角转台、测量探测器、位置灵敏探测器、螺旋测微计调节支架、调节支架、信号放大电路、电气控制箱、波长计、光学平板、计算机，其特征在于：可调谐激光器、偏振器、分束镜、小孔按照顺序固定在调节支架上，并保持等高共轴，光轴指向波导样品的中心，调节支架再固定在光学平板上，波长计固定在光学平板上，并与可调谐激光器保持等高，波导待测样品放在倍角转台上，倍角转台平放在光学平板上，测量探测器、可调谐激光器关于波导待测样品的中心轴对称，测量探测器固定在倍角转台上，位置灵敏探测器焊接在一块面包板上，并固定在螺旋测微计调节支架上，通过倍角转台扫描角度，确定入射角度，然后通过移动螺旋测微计调节支架使反射光斑正好打在位置灵敏探测器的中心，位置灵敏探测器通过导线与信号放大电路相连，信号放大电路的两路输出和测量探测器同时通过数据线与电气控制箱及计算机相连，波长计通过串口与计算机相连。

2.根据权利要求1所述的基于波长扫描的古斯汉欣位移的测量系统，，其特征是，所述倍角转台包括：滚动平板、轮子、内转台、外转台、底座、支架，滚动平板通过支架固定在底座上，在内转台边缘对称地引出三个接点，在接点上设置轮子，轮子的中心带有轴承，轮子的轴线与内转台的中心轴线严格垂直相交，外转台底面设有一个圆形的沟槽，外转台通过沟槽套在轮子上，滚动平板与内转台的中心轴线严格垂直。

3.根据权利要求1所述的基于波长扫描的古斯汉欣位移的测量系统，其特征是，所述测量探测器为硅光电池。

4.根据权利要求1所述的基于波长扫描的古斯汉欣位移的测量系统，其特征是，所述可调谐激光器的输出波长在858nm-863nm之间。

5.根据权利要求1所述的基于波长扫描的古斯汉欣位移的测量系统，其特征是，所述位置灵敏探测器为梳状一维位置灵敏探测器，光敏区大小1mm*8mm。

6.根据权利要求1所述的基于波长扫描的古斯汉欣位移的测量系统，其特征是，所述螺旋测微计调节支架，为一个带螺旋测微计的调节支架，调节支架用来调节位置灵敏探测器的高度，使光斑能垂直入射到光敏区；螺旋测微计用来调节位置灵敏探测器与光路垂直方向的位置，使入射光初始时打在位置灵敏探测器的中心。