[发明专利]压电水晶无籽晶声表晶片的制备方法有效

专利信息
申请号: 200710049828.6 申请日: 2007-08-23
公开(公告)号: CN101372758A 公开(公告)日: 2009-02-25
发明(设计)人: 李代雄;周禄雄;陈金灵;王显波 申请(专利权)人: 四川省三台水晶电子有限公司
主分类号: C30B7/10 分类号: C30B7/10
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 代理人: 吴彦峰;徐宏
地址: 621107*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 压电 水晶 籽晶 晶片 制备 方法
【权利要求书】:

1.压电水晶无籽晶声表晶片的制备方法,主要步骤是将籽晶放置在高压釜内采用水热温差法培育水晶,然后再切割成水晶晶片,其特征在于:所述籽晶是声表面波传播方向角度、尺寸为2~6英寸的籽晶片,在所述高压釜内,填充氢氧化钠、碳酸钠碱溶液,高压釜的上部放籽晶,下部放溶解用的原料,溶液向上方对流移动,使晶体沿声表面波传播方向角度结晶,长成符合制备2~6英寸规格无籽晶声表晶片的晶体块,根据不同品种所需声表晶片的厚度,通过线切割将晶体块以籽晶基片为切割角度基准,按不同厚度进行切割加工,以获得声表面波传播方向角度不同厚度的无籽晶声表晶片;

所述高压釜内设置有可拆卸的“Z”字形水晶块生长工模夹具,用此工模夹具使籽晶生长成水晶块。

2.如权利要求1所述压电水晶无籽晶声表晶片的制备方法,其特征在于:采用该方法制备的声表晶片不含作为种子的籽晶。

3.如权利要求1所述压电水晶无籽晶声表晶片的制备方法,其特征在于:所述籽晶为声表面波传播方向角度的低腐蚀隧道密度的水晶基片。

4.如权利要求3所述压电水晶无籽晶声表晶片的制备方法,其特征在于:所述籽晶的声表面波传播方向角度的低腐蚀隧道密度为50条以内。

5.如权利要求1所述压电水晶无籽晶声表晶片的制备方法,其特征在于:所述水热温差法是五段自动控功式,即采用上部两段,中、下部三段,控制其功率达到一致,以确保声表晶块的生长上下均匀一致,及生长的前、中、后期品质一致性。

6.如权利要求5所述压电水晶无籽晶声表晶片的制备方法,其特征在于:所述符合规格的晶体块是指符合制作2英寸、3英寸、4英寸、6英寸规格的晶体块。

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