[发明专利]低损耗电介质材料高温复介电常数测试装置及方法

权利要求书

1.低损耗电介质材料高温复介电常数测试装置，包括微波信号源、圆柱形高Q谐振腔、真空高温炉和标量网络分析仪；圆柱形高Q谐振腔位于真空高温炉中；

其特征在于，所述圆柱形高Q谐振腔，包括圆柱型腔筒(1)、上端盖(2)、下端盖(3)和连接波导(4)；下端盖(3)与圆柱型腔筒(1)的下端固定连接，上端盖(2)与圆柱型腔筒(1)的上端通过连接螺栓(5)连接；所述圆柱型腔筒(1)由腔筒外层(11)和腔筒内层(12)组成，所述上端盖(2)由上端盖外层(21)和上端盖内层(22)组成，所述下端盖(3)由下端盖外层(31)和下端盖内层(32)组成，所述连接波导(4)由高温波导(41)、隔热波导(42)和冷却波导(43)依次连接而成；所述腔筒外层(11)、上端盖外层(21)和下端盖外层(31)由厚层耐高温支撑材料制成，所述腔筒内层(12)、上端盖内层(22)和下端盖内层(32)由薄层耐高温贵金属材料制成；所述腔筒内层(12)、上端盖内层(22)和下端盖内层(32)分别紧贴于腔筒外层(11)、上端盖外层(21)和下端盖外层(31)；在所述上端盖(2)适当位置开有两个耦合孔(23)，两个连接波导(4)分别嵌入上端盖(2)的上端盖外层(21)支撑材料并与相应耦合孔(23)处的上端盖内层(22)固定连接；

两个连接波导(4)中任意一个连接波导(4)作为圆柱形高Q谐振腔的微波信号输入端，并通过波导-同轴转换接头和同轴连接线与微波信号源的微波信号输出端相连；另一个连接波导(4)作为圆柱形高Q谐振腔的微波信号输出端，并通过波导-同轴转换接头和同轴连接线与标量网络分析仪的信号输入端相连。

2.根据权利要求1所述的低损耗电介质材料高温复介电常数测试装置，其特征在于，所述制作腔筒外层(11)、上端盖外层(21)和下端盖外层(31)的厚层耐高温支撑材料是导热性能良好且易于加工的材料，所述制作腔筒内层(12)、上端盖内层(22)和下端盖内层(32)的薄层耐高温贵金属材料的熔点高于1000℃并具有良好导电性能。

3.根据权利要求1所述的用于高温下微波测试的圆柱形高Q谐振腔，其特征在于，所述制作腔筒外层(11)、上端盖外层(21)和下端盖外层(31)的厚层耐高温支撑材料是石墨，所述制作腔筒内层(12)、上端盖内层(22)和下端盖内层(32)的薄层耐高温贵金属材料是铂铑合金。