[发明专利]一种从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法

权利要求书

1.一种从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征是一种利用常压微波等离子体射流从含硅或含硫的工业废气中回收微硅粉或微细硫粉的方法，该方法是：首先利用微波激励含硅或含硫的工业废气放电产生常压微波等离子体射流，该常压微波等离子体射流经高频感应加热后与收集器的冷却罩接触作用后，常压微波等离子体射流中含有的处于活性状态的硅离子、硅原子或硫离子、硫原子迅速失去活性，从而形成微细硅粉或微细硫粉，同时有机废气被分解处理成无害气体。

2.根据权利要求1所述的从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征在于：含硫的工业废气是指含有二氧化硫或硫化氢等硫化物的工业废气；含硅的工业废气是指含有三氯氢硅、四氯化硅等的工业废气。

3.根据权利要求1所述的从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征在于常压微波等离子体射流工作在大气压下。

4.根据权利要求1所述的从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征在于微波的频率是2.45GHz或0.915GHz。

5.根据权利要求1所述的从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征在于高频感应加热所用的高频功率的频率范围为50kHz-30MHz。

6.根据权利要求1所述的从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征在于回收的微细硅粉或微细硫粉的粒径为50nm～2μm。

7.根据权利要求1所述的从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征在于含硅的工业废气中混入一定比例的氢气后放电产生常压微波等离子体射流，工业废气占混合气体的体积分数范围为20％-80％。

8.根据权利要求1所述的从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征在于含硫的工业废气中混入一定比例的氩气后放电产生常压微波等离子体射流，工业废气占混合气体的体积分数范围为50％-90％。

9.根据权利要求1所述的从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征在于收集器的冷却罩的工作温度范围为-20-15℃。