[发明专利]具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置

权利要求书

1.一种具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，包括有微波发生器(1)、波导(2)和等离子体谐振腔(4)，微波发生器通过波导与等离子体谐振腔相导通，等离子体谐振腔安设于加热炉(7)内，其不同之处在于在波导内腔通道中安设有隔热板(8)。

2.按权利要求1所述的具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，其特征在于所述的隔热板(8)横贯波导内腔通道的横截面，隔热板设置在波导内腔通道近加热炉处。

3.按权利要求1或2所述的具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，其特征在于所述的隔热板由耐高温非金属材料制成。

4.按权利要求3所述的具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，其特征在于在隔热板的表面涂敷一层表面光泽的反射层。

5.按权利要求1或2所述的具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，其特征在于所述的波导为矩形波导，包括有水平设置的矩形波导和垂直设置的矩形波导构成，在垂直波导的底部安设有隔热板(8)。

6.按权利要求1或2所述的具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，其特征在于所述的耐高温非金属材料为金属杂质含量低于0.01％的硅酸铝质耐火材料或陶瓷材料。

7.按权利要求1或2所述的具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，其特征在于隔热板厚度为10～20毫米，横断面形状与尺寸与波导内腔横截面形状与尺寸相同。

8.按权利要求1或2所述的具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，其特征在于隔热板用耐热200℃以上的硅胶黏附在波导内腔。

9.按权利要求4所述的具有隔热功能的等离子体谐振腔波导装置，其特征在于反射层材料为耐热树脂或氧化铝。