[发明专利]一种纳米复合类金刚石涂层制备方法

权利要求书

1.一种纳米复合类金刚石涂层制备方法，其特征在于：放置于真空室中的工件经辉光放电清洗后，在0.1～3 Pa、-50～-150V偏压的条件下利用磁场控制的金属靶电弧放电制备金属过渡层；然后通入乙炔气体，乙炔和金属靶表面发生反应形成金属碳化物，当电弧在靶面运动时，从靶面蒸发出金属碳化物；利用靶表面电弧放电产生的强等离子体离化乙炔气体，产生高度离化的碳离子；从靶面蒸发的金属碳化物和乙炔产生的碳离子在工件表面形成碳化物掺杂纳米复合类金刚石涂层。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：控制电弧运动的磁场由放置在电弧靶的后面的线圈通电产生，线圈由直流电源供电，在靶面产生强度为30～50高斯的磁场，利用磁场拖动电弧在靶面上运动，提高电弧在靶面燃烧的均匀性和电弧的运动速度。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于：金属靶靶材为Ti靶，靶的数量为1-2个，靶尺寸为宽度在140～200mm，长度在500～1000mm；金属靶的电流在120～200安培。

4.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于：辉光放电清洗在150～200℃，氩气环境下进行。

5.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于：金属过渡层的沉积厚度为100～200纳米。

6.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于：通入乙炔气体流量为80～600sccm。