[发明专利]双尖侧栅控型结构的平板显示器及其制作工艺

说明书

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种双尖侧栅控型结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

显示技术是整个信息技术的重要组成部分，而显示器件则是显示技术当中的关键设备。利用碳纳米管作为阴极材料而制作的场致发射平板显示器具有高质量的显示图像，清晰逼真，器件超薄量轻，是一种多功能和数字化的显示设备。这种显示器多用于军事领域，如头盔式目视镜，火炮武器定位系统，高清晰地形显示屏幕等方面。它将阴极射线管显示器的高图像质量，等离子体显示器的大面积性以及液晶显示器的超薄型等优点集于一身，业已成为了新一代国际平板显示技术的发展方向。

在目前所报道的三极结构场致发射显示器件当中，普遍都存在着栅极电压居高不下，器件的显示亮度不高，图像显示不均匀等缺点，还需要进一步的加以改进。要想进一步提高器件的显示亮度，一方面需要进一步增大碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极来参与电子发射，这样阳极的工作电流也就随之增大了，很显然器件的显示亮度也就增高了；另一方面就是在碳纳米管阴极的面积已经固定的情况下需要提高碳纳米管阴极的电子发射效率，使得碳纳米管阴极在相同栅极电压下能够发射出更多的电子，也能够提高器件的亮度。此外，在兼顾绝缘材料的制作工艺、材料属性等因素的情况下需要尽可能的缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，从而降低栅极的工作电压。因此，在实际器件的制作过程中，这些都是值得认真考虑的实际问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的双尖侧栅控型结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及双尖侧栅控型结构。