[发明专利]一种中大口径非球面光学元件的高效数控抛光工艺及设备

权利要求书

1.一种中大口径非球面光学元件的数控抛光工艺设备，其特征是：

该设备分为Z轴进给系统、Y轴进给系统、C轴进给系统、A轴进给系统、X轴进给系统、抛光头系统、床身七部分；

Z轴进给系统：Z轴固定在滑板体和压盖之间，第三交流伺服电机驱动抛光主轴旋转，滑板体底部固定有直线导轨的滑块及滚珠丝杠上的滚珠螺母，通过滚珠丝杠驱动滑板体及其中的抛光主轴，在Z轴轴向上作上下往复运动，另一交流伺服电机驱动抛光主轴绕Z轴作旋转运动；

Y轴进给系统：Y轴系统固定在床身横梁上，Y轴第二伺服电机与滚珠丝杠相连，并驱动滚珠丝杠使滑板体在Y轴轴向上作往复运动；

C轴进给系统：第六交流伺服电机驱动U型蜗轮壳体内的一套弹簧消隙的蜗轮、蜗杆减速机构传递动力，使固定在蜗轮、蜗杆减速机构上的转盘及转盘上面固定的工件绕着Z轴作C轴无间隙360°旋转运动；

A轴进给系统：A轴为两个半轴，分别固定在左支座及右支座上，左支座内的第四交流伺服电机带动一套所述蜗轮、蜗杆减速机构及齿轮减速器传递动力，使C轴部件的U型蜗轮壳体以及上面固定的工件绕着X轴作A轴的±90°翻转运动；

X轴进给系统：A轴部件的左、右支座底部固定有所述直线导轨的滑块及所述滚珠丝杠上的滚珠螺母，第一交流伺服电机驱动滚珠丝杠旋转带动左、右支座及其上面的A轴部件、C轴部件在X轴轴向上作往复运动；

抛光头系统：采用四连杆平衡定位机构，压缩空气由进气口输入，通过气管输送到抛光模主轴孔内，推动球头柱塞，对抛光模施加一定的压力，保证抛光模与工件表面之间一定压力的悬浮式接触；

床身：床身采用花岗岩材料，床身水平面内固定有X轴进给系统、A轴进给系统、C轴进给系统，床身竖直平面内固定有Y轴进给系统、Z轴进给系统及抛光头系统；

各部件间相互关系：该抛光头系统采用龙门式五轴数控抛光方式，抛光磨头主轴沿X轴、Y轴方向可往复运动，同时抛光磨头可沿Z轴轴向作往复运动，工件绕Z轴作C轴回转运动，绕着X轴作A轴翻转运动。